韩国的借鉴：突破日本封锁

——韩国的借鉴：替代方案与“国产化”突破

2019年7月，日本政府宣布对出口韩国的半导体工业材料加强审查和管控，并将韩国排除在贸易“白色清单”以外，具体针对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚酰亚胺，以及光刻胶等3种先进化学品，对这些化学品实施严格的出口管制。

面临进口高端电子化学品出口管制后的韩企，随即开展了国产化的尝试。2019年11月。SK Materials成立了相关材料的研发中心，成功开发出基于三氟化氮（NF3）技术的气态氟化氢原型，这给韩国半导体产业带来了很大的信心，随后SK Materials在韩国庆尚北道的荣州工厂，设置了年产量15公吨规模的生产设备。从2019年的11月到2020年6月，SK Materials一直与客户进行测试，最终实现批量生产。

2020年，韩国从日本进口的氟化氢金额约为938万美元，与上一年的3630万美元相比，下降了74.2%。日本在氟化氢进口总量中所占的份额从2019年的32.2%下降至12.8%。另据韩国海关的进出口贸易统计，2020年韩国进口的日本氟化氢数量为4942吨，与2019年的19835吨相比，减少了75%。

在日本实施出口管制后，韩国通过加快本土氟化氢产业竞争力的增强，减少了对日本的依赖。三星投资的化学品公司Soul brain通过增加高纯度氢氟酸的生产，为稳定供应链做出了贡献，SK材料也成功地量产了高纯度氟化氢气体产品。韩国贸易协会发布的数据显示，韩国从日本进口的氟化氢量自2019年6月的3026吨到8月份下降至零，并从同年12月恢复从日本进口，至793吨，但此后表现趋缓，2020年月均进口仅为400吨左右。另外，从中国台湾的氟化氢进口量尽管因日本政策而一度激增，但在2020年也同比减少了54%。

三星电子投资的Soul Brain宣布，已开始供应与日本企业相同水平的超高纯度氟化氢；SK Materials也已开始批量生产用于半导体制造的氟化氢。同时，应韩国政府的要求，三星和SK海力士都在部分生产过程中导入了本国产品。

报道指出，韩国加速氟化氢自产自销的行动让两家日本公司受到重创。数据显示，氟化氢巨头Stella Chemifa和森田化学工业（大阪）对韩国的年出口额减少约60亿日元。在截至2020年3月的财政年度中，Stella Chemifa面向半导体和液晶显示器的氟化氢出货量减少了26％。森田化学则表示，“将通过增加对韩国以外地区的供货来弥补损失的份额。”

光刻胶方面，尽管大多韩企以失败告终，但去年也有诸如东进半导体成功开发出EUV光刻胶等突破。此外，其他材料方面，韩国也有寻找他国供应商倾向，以硅片为例，今年1月，韩国从中、日进口硅片金额已经相当，但多以6、8英寸为主。

如果日本对出口到中国的先进设备与材料实施管制，可能会有以下影响：

首先，对日本的相关出口行业产生负面影响，尤其是那些依赖中国市场的企业。特别是在短期内可能会导致这些企业的销售额和利润下降。数据显示，2022年第四季度，日本对中国的此类设备出口额同比下降16%，而美国下降50%，荷兰下降44%，已出现明显下滑。

其次，如果不能从日本获得必要的材料和技术，短期内中国的半导体晶圆制造企业可能会有短暂的不利影响，这可能会导致部分中国半导体生产线产能和产量减少，同时在先进制程上的突破进一步放缓。

但中长期来看，如果中国无法从日本获得必要的半导体设备和材料，会加速发展本国的相关产业，以国家大基金为代表的资本会不断投入相关企业，从而弥补日本进口减少的那部分，最终更快实现替代方案与“国产化”突破。

晶圆制造是当今工业制造皇冠上的明珠，高纯度湿电子化学品是晶圆制造过程中清洗、光刻、蚀刻等工艺流程的必备材料，也应用于后端的封装测试环节。SEMI预计2022年中国半导体用湿电子化学品市场规模为4.28亿美元，同比增长14.13%。

电子气体是半导体制造、显示制造等产业的主要耗材之一，是中国战略性新兴产业发展中必不可少的关键支持材料。近年来中国本土气体企业如派瑞特气、华特气体、南大光电等的部分产品已经进入国内外先进晶圆厂中。SEMI预计2022年国内电子气体市场规模可达11.13亿美元，同比增长14.15%。

未来三年将是中国半导体制造产业高速发展期，中芯国际、华虹宏力、长江存储、长鑫存储等企业加速扩产，格科微、鼎泰匠芯、华润微等企业布局的多条8/12英寸晶圆生产线也将陆续投产，这将带动国内高于全球湿电子化学品与电子气体的需求增速。半导体电子化学品及气体将迎来空前发展机遇。

此外，清洗与抛光、湿法刻蚀及光刻显影、去胶等步骤需要湿法制程设备。以半导体清洗设备为例，根据亚化咨询预测，2025年全球市场将达近41亿美元，此外，清洗设备的国产化率仅在20%左右。未来国内湿制程设备将迎来广阔机遇。