ASML CEO:中国开发自己的半导体设备合乎逻辑
来源:OFweek电子工程发布时间:2023-04-281994浏览
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据外媒报道,ASML的首席执行官Peter Wennink周三表示,当中国被限制购买国外制造的科技产品时,它寻求开发自己的半导体设备是 "合乎逻辑的"。ASML是欧洲市值最大的科技公司,在光刻机方面占据了全球绝对领先的地位。就在上周,ASML发布了强劲的第一季度收益财报,并表示中国的销售额将增加,因为中国的芯片制造商急于购买不属于美国主导的限制旧工具,传荷兰政府说它将在3月采取这种限制。Wennink在周三举行的ASML年会上说,他并不担心日本、美国或中国的竞争对手会接近打造尖端的商业光刻产品。"但这当然会发生,所以我们能继续拥有中国的市场准入权是绝对必要的",中国是全球最大的芯片市场。"他说:"市场准入对我们来说和对我们的中国客户一样重要。Wennink表示,美国、中国和欧洲的补贴等政策将导致产能增加,并导致更多的过剩和短缺,如新冠疫情导致的短缺和目前的供应过剩。但Wennink说,全球芯片市场仍将翻番,到本世纪末达到1.0万亿-1.2万亿美元。他说,中国大陆是ASML的第三大市场(仅次于中国台湾省和韩国)有一家不愿透露姓名的汽车制造商,计划在未来三年内生产更多的电动汽车,这将需要 "六到七个成熟的逻辑工艺半导体晶圆厂",而这些晶圆厂没有开建。在这之前,ASML强调,新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统,而只涉及所谓“最先进”的浸润式光刻系统。截至目前企业尚未收到有关“最先进”的确切定义的信息,公司将其解读为在资本市场日会议上定义的“关键的浸润式光刻系统”,即TWINSCANNXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。所谓浸没式光刻机,属于193nm(光源)光刻机(分为干式和浸没式),可以被用于16nm至7nm先进制程芯片的制造,但是目前也有被业界广泛应用在45nm及以下的成熟制程当中。ASML公司官网信息显示,该公司主流的DUV光刻机产品共有三款设备:TWINSCAN NXT:1980Di,TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i,其中2000i和2050i两款是公司在声明所指的产品。ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。理论上NXT:1980Di依然可以达到7nm,只是步骤更为复杂,成本更高,良率可能也会有损失,晶圆厂用这一台光刻机,大多是生产14nm及以上工艺的芯片,很少去生产14nm以下的工艺,因为良率低,成本高,没什么竞争力。【温馨提示】
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