【芯事记】3月半导体设备招投标：设备招标量环比增长超130%

集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年3月，上海积塔、华虹半导体、新昇半导体、芯未半导体、汇芯通信等企业合计招标321台设备，数量高于2月的135台，环比增长137.78%。其中，刻蚀设备3台，薄膜沉积7台，工艺检测12台，离子注入1台，CMP 1台，热处理2台，清洗设备10台。

从招标企业来看，上海积塔新增设备招标216台，华虹半导体新增设备招标34台，上海华力新增设备招标7台，积海半导体新增设备招标5台，新昇半导体新增设备招标6台，芯未半导体新增设备招标25台，汇芯通信新增设备招标16台。

其中，上海积塔特色工艺项目招标规模再次扩大，3月设备招标数量远高于2月的52台。主要为采购薄膜沉积、激光退火、离子注入等设备；干泵设备需求较多。

华虹半导体3月设备招标数量（34台）略低于2月的36台，多为采购排气处理装置和干式真空泵。

新昇半导体3月设备招标数量（6台）略低于2月的8台，主要采购蚀刻机、微粒检测机、平坦度检测机等。

从中标方面来看，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年3月，北方华创、中微公司、嘉芯迦能、上海微电子装备、应用材料、KLA等企业合计中标129台设备，数量略高于2月的127台，环比增长1.57%。其中，光刻设备3台，刻蚀设备2台，薄膜沉积37台，工艺检测15台，离子注入1台，CMP 6台，热处理4台。

国内设备厂商合计中标82台设备，占比约为63.57%。其中，北方华创共中标28台设备；中微公司共中标1台设备，是为华虹半导体提供1台刻蚀腔体；上海微电子装备共中标2台设备，是为华虹半导体提供提供2台晶圆激光退火设备；拓荆科技共中标1台设备，是为华虹宏力提供1台等离子化学气相沉积设备；嘉芯迦能共中标4台设备；富岚半导体共中标2台设备；精测半导体共中标3台设备，是为新昇半导体提供3台抛光片检测机；芯碁微装共中标1台设备；晶亦精微共中标1台设备。

国外设备厂商合计中标47台设备，占比约为36.43%。其中，应用材料共中标1台设备，是为华虹半导体提供1台快速热退火设备；KLA共中标10台设备；SUSS共中标1台设备，是为深圳汇芯通信提供1台光刻机。

其中，北方华创3月中标设备数量高于2月（13台），包括中标华虹半导体1台多晶硅刻蚀设备和1台合金退火扩散炉；中标麦斯克电子8英寸硅外延项目26台多片式外延炉。

嘉芯迦能3月中标上海积塔特色工艺项目4台设备，包括2台高密度等离子薄膜沉积设备、1台掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备和1台钛/氮化钛沉积设备。

本月重点企业动态

3月6日，中芯国际在投资者互动平台表示，至2022年底，中芯深圳进入投产阶段，中芯京城进入试生产阶段，中芯临港完成主体结构封顶，中芯西青开始土建。中芯京城因瓶颈设备交付延迟，量产时间预计推迟一到两个季度。3月28日，中芯国际发布2022年年度财报，2022年总营收为72.7亿美元，同比增长33.6%。

3月30日，华虹半导体公布2022年度业绩称，公司销售收入创历史新高，达24.755亿美元，较上年度增长51.8%；净利润为4.066亿美元，较上年度增长76.0%。截至2022年底，华虹半导体拥有三座8英寸晶圆厂和一座12英寸晶圆厂，近三年折合8英寸年产能分别为248.52万片、326.04万片、386.27万片，年均复合增长率为24.67%。

3月，据国家市场监督管理总局旗下企业信用信息公示系统显示，长江存储科技控股有限责任公司股东结构新增国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、长江产业投资集团有限公司及湖北长晟发展有限责任公司等股东。其中，国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司认缴出资额为1288673.4904万元。

3月30日，中微公司发布2022年年度报告，实现营业收入47.40亿元，同比增长52.50%；2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%。

3月28日，盛美上海宣布首次获得Ultra C SiC碳化硅衬底清洗设备的采购订单。该平台还可配置盛美上海自主研发的空间交变相位移（SAPS）清洗技术，在不损伤器件的前提下实现更全面的清洗。该订单来自中国领先的碳化硅衬底制造商，预计将在2023年第三季度末发货。

3月16日，万业企业发布《股东集中竞价减持股份计划公告》称，公司第三大股东国家集成电路产业投资基金股份有限公司拟自披露减持计划公告日起15个交易日后的3个月内，即2023年4月10日至2023年7月8日期间，通过集中竞价交易方式减持其所持有的股份不超过 9,306,299股，即不超过本公司目前总股本的1%。（校对/韩秀荣）