材料问题致产线停摆，SK海力士要求供应商赔偿

导读：2月20日据韩媒The Elec报道，由于半导体材料纯度问题导致DRAM质量受影响，已暂停部分产线运转。

图：SK 海力士

报道称，由于晶圆制造过程所需的高k材料存在质量问题，SK海力士本月在DRAM生产过程中遇到了麻烦。

消息人士称，事件缘由是由供应商SK Trichem提供的锆 (Zr) 高k材料中含有杂质，这导致SK海力士在其DRAM工厂的部分生产设备停止运行，由于晶圆制造的特殊性，因此可能造成一段时间内产线设备和材料上的额外损失。

SK海力士表示，产线内部立即进行了清洁流程，因此其生产输出没有受到损害。然而，SK海力士表示正在审查并要求SK Trichem承担因设备停机和更换组件而造成的损失。同时，SK海力士也将停止从SK Trichem采购材料，直到问题得到解决。

图：高纯度锆金属

SK Trichem表示计划在本月底向SK海力士供应质量更高的产品。该化学公司表示，其供应的导致该问题的高k材料存在纯度问题，导致某些设备承受压力升高，从而导致停工。该公司补充说，SK Trichem仍在供应用于同一生产线上其他设备的材料。

Zr high-k材料是一种前驱体，它以原子级沉积在DRAM电容器的顶部。由于电容器直接决定了DRAM的性能，因此高k材料的质量也至关重要。与此同时，外界预估UP Chemical和M Chemical将暂时代替SK Trichem供应SK海力士所需的高k材料。

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