供应短缺，用于芯片生产的光罩护膜价格涨价

集微网消息，随着中国不断涌现无晶圆厂芯片设计初创企业，导致用于晶圆制造Arf和Krf光刻工艺的光罩护膜(pellicle)供不应求，价格上涨。

光罩护膜用于保护光罩，据韩媒The Elec报道，韩国唯一的光罩护膜制造商FST今年掩模出口营收比例预计将从去年的30%提升至今年的40%。

今年早些时候，上游原材料供应商3M公司不得不关闭其在比利时的工厂，以遵守当地的环境保护法，原材料价格上涨从而导致光罩护膜价格上涨，日本光罩护膜制造商之间的兼并也使相关产品生产放缓，供应紧张。

此外，多家光罩护膜制造商也在开发针对EUV等先进工艺节点的新护膜，导致整体产量下滑。（校对/黎雯静）