芯友快讯|中科飞测再闯科创板，助力集成电路专用设备国产化

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5月13日，中科飞测发布公告称，公司在更新了财务资料后中止审核情形消除，恢复了在科创板的IPO进程。本次募资拟用于高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目、补充流动资金。据了解，中科飞测于2021年12月申请科创板IPO，先后经历过5轮融资，投资人有国科嘉和、中芯聚源、新微资本、微电子所、国投创合、芯动能、国投创新、华控、深创投、哈勃投资等。

作为国内半导体设备行业领军企业之一，中科飞测专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。自成立以来，公司一直致力于光学检测技术的半导体质控设备的自主研发，承担了国家科技重大专项、国家重点研发计划等众多科研项目，客户包含中芯国际、长江存储、世兰集科、长电科技、华天科技、通福微电等国内主要集成电路前道制程及先进封装企业。公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

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芯片揭秘公众号回复“004”，可得中科飞测招股说明书

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招 股 说 明 书 披 露

据了解，中科飞测背靠深创投、华为哈勃投资、国投基金等投资机构，在上市前最后一轮融资是2020年9月的D轮融资，资方正是华为哈勃。截至本招股说明书签署日，苏州翌流明直接持有公司15.75%的股份，通过小纳光间接控制公司7.86%的股份，合计控制公司股份总数的23.61%，为公司控股股东，CHENLU(陈鲁)、哈承姝夫妇合计控制公司30.54%股份，为公司实际控制人。

根据公开资料显示，量测设备目前国产化率不超过5%。为数不多实现设备国产化的只有上海精测半导体和中科飞测等。从订单来看，中科飞测实现量测设备可以维持持续的重复订单，在国产率低且订单重复的背景下，中科飞测仍有较长的一段路需要走。市场端需求旺盛，未来几年在该领域，中科飞测国产化率有望大幅提升。