材料在地化 默克强化韩国生产据点

传德国半导体材料业者默克(Merck)将强化韩国生产据点，扩大在韩供应客户化学机械研磨(Chemical-Mechanical Planarization；CMP)研磨液、极紫外光(EUV)润洗液等半导体材料，预计将强化与三星电子(Samsung Electronics)及SK海力士(SK Hynix)等客户的合作关系。

韩媒Ddaily引述业界消息指出，默克目前正与韩国客户进行CMP研磨液品质检测，预计2022年上半开始供货。默克相关人士表示，具体供应时程尚未决定，但预计不久後将达成协议。

CMP研磨液为研磨半导体晶圆表面使其平坦的材料，放置於晶圆与CMP垫之间进行回转研磨。由於随着客户不同，对CMP材料物性也会有不同的要求，因此近年有逐渐在当地研发及生产的趋势，以缩短交货时间并迅速应对客户需求。2020年默克便在韩国平泽成立韩国先进技术中心(K-ATeC)，并设置研磨液产线。

除了默克，日本昭和电工(Showa Denko)等业者也预计在韩国设置CMP研磨液工厂，预期海外业者强化投入韩国市场，将为东进世美肯(Dongjin Semichem)、KCTech等韩国业者带来激烈竞争。

据悉除了CMP研磨液，默克也准备在韩国生产EUV润洗液。EUV润洗液用於EUV曝光制程後去除残留物，需要与既有氟化氩(ArF)等光源不同的专用材料，默克过去主要在海外工厂生产，如今也开始与韩国客户进行EUV润洗液的品质检测。

另外，默克於2019年购并的Versum Materials，近年也逐渐在韩国半导体市场崭露头角，Versum Materials主要生产双重曝光(Double Patterning Technology；DPT)材料，并供应三星电子等业者。透过在精密的半导体回路上进行两次曝光，以防止半导体损伤，目前三星有一半的DPT需求仰赖Versum Materials。

顺应这波材料在地化生产趋势，Versum Materials也计划於2022年投资1,000亿韩元(约8,238万美元)，於韩国蔚山设置用於半导体清洗的三氟化氮(NF3)工厂。

责任编辑：陈至娴