国内晶圆厂两次包机抢运54吨滞留光刻胶

随着疫情反弹导致全球部分地区的海运紧张、港口和通关阻滞，运输存储、交期相对敏感的电子材料供应链仍然危机重重。据CSIA（中国半导体行业协会）消息，8月2日，上海市集成电路行业协会收到中芯国际、华宏虹力等公司的反馈，浦东国际机场由于疫情突发，导致冷链运输货物分拨不畅，大量货物滞留在海外。其中便包括光刻胶。

光刻胶又称光致抗蚀剂，它是指由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混合液体。在紫外光、电子束、离子束、X 射线等辐射的作用下，其感光树脂的溶解度及亲和性由于光固化反应而发生变化，经适当溶剂处理，溶去可溶部分可获得所需图像。

光刻工艺是指在光照作用下，借助光刻胶将掩膜版上的图形转移到基片上的技术，在半导体制造领域，随着集成电路线宽缩小、集成度大为提升，光刻工艺技术难度大幅提升，成为延续摩尔定律的关键技术之一。同时，器件和走线的复杂度和密集度大幅度提升，高端制程关键层次需要两次甚至多次曝光来实现。其中，光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。目前，高端光刻胶市场主要由日本和美国光刻胶巨头主导。

此外，由于光刻胶保质期短（平均6个月左右），长期滞留不仅货物本身会造成损失，中芯国际、华虹集团等企业也会因光刻胶短缺存在停工停产的风险。

经上海市集成电路行业协会与上海市经委运行处商议，采用“包机”的形式将自8月初开始滞留的货物一次性运输至上海。8月31日，上海市集成电路行业协会召集国际知名光刻胶供应商杜邦、默克、住商、信越等企业讨论“包机”纾困方案。

截至目前，在供应链与东航物流、上海海关、浦东机场海关等多部门的支持下，上海市集成电路行业协会分别于9月10日和10月17日完成2次包机任务，共运输光刻胶53.78吨。