高端光刻胶再次告急 这家公司产品获多家晶圆厂导入

5月27日消息，据报道，由于 KrF 光刻胶产能受限以及全球晶圆厂积极扩产等，占据全球光刻胶市场份额超两成的日本供应商信越化学已经向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货 KrF 光刻胶，且已通知更小规模晶圆厂停止供货 KrF 光刻胶。

业内人士表示，未来国内多家晶圆厂或将面临 KrF 光刻胶大缺货的处境，彤程新材作为目前国内唯一一家能够供应 KrF 光刻胶的厂商，大陆多家晶圆厂正在加速验证导入其子公司北京科华的 KrF 光刻胶。

资料显示，北京科华成产品覆盖 KrF ( 248nm ) 、l-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂，是中芯国际、华润上华、杭州士兰、吉林华微电子、三安光电等行业顶尖客户的稳定合作伙伴。

信越化学之所以停止供货部分晶圆厂 KrF 光刻胶，与 2 月份日本福岛东部海域发生 7.3 级地震有莫大关联。地震导致信越化学 KrF 光刻胶产线受到很大程度的破坏，至今尚未完全恢复生产。

上述业内人士还表示，国内晶圆厂面临 KrF 光刻胶大缺货，除了信越化学 KrF 光刻胶产线供应出问题外，更大的原因在于，在日本福岛地震之前，KrF 光刻胶的产能供应就较为紧张。

晶圆代工产能不断扩张 光刻胶国产化任重道远

光刻胶是半导体光刻工艺的关键材料，按照曝光波长可分为 g 线、i 线、KrF、ArF 和 EUV 光刻胶，后三者为高端光刻胶产品。

目前，全球半导体光刻胶被日本 JSR、TOK、住友化学、信越化学，以及美国陶氏化学所主导。我国适用于 6 英寸硅片的 g 线和 i 线光刻胶自给率约为 20%，适用于 8 英寸硅片的 KrF 光刻胶自给率不足 5%，适用于 12 寸硅片的 ArF 光刻胶则完全依靠进口。

这一背景下，供应链安全重要性不言而喻。

另一方面，由于全球晶圆代工产能不足，产能扩充一直在进行中，今年以来，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外，中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等本土晶圆厂也积极扩产和释放产能。

国内半导体产能快速扩展和供应链自主可控的需求也为光刻胶行业带来了发展机遇，2020 年行业龙头晶瑞股份光刻胶业务营收增长 16.98%，增速远超往年，为 2018 年以来最高，显示行业景气度较高。

根据智研咨询预测，2022 年中国大陆半导体光刻胶市场空间将会接近 55 亿元，是 2019 年的两倍。

光刻胶供应不足的情况仍将持续一段时间。据央视财经 3 月 22 日报道，国内光刻胶供应极为短缺，以往企业每次采购的光刻胶量约在 100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采购到 10kg-20kg。

而在半导体供应链安全逐渐得到重视的背景下，一方面我国出台了多项相关政策，为光刻胶产业发展提供了良好的政策支持，另一方面国家集成电路大基金二期布局规划明确支持包括光刻胶在内的国产半导体材料产业链，国产光刻胶研发和量产或将提速，国内厂商纷纷计划在被日美垄断的半导体光刻胶领域扩大投入，并在高端光刻胶领域研发和量产持续突破。

A 股上市公司中，彤程新材走在前列，其 ArF 光刻胶已经量产，KrF 光刻胶尚在研发过程中；上海新阳主攻 KrF 和干法 ArF 光刻胶，目前已进入产能建设阶段；南大光电子公司宁波南大光电自主研发的 ArF 光刻胶已通过客户认证；晶瑞股份的 KrF 光刻胶已经完成中试，正进入客户测试阶段，ArF 光刻胶尚在研发过程中。