台积电A14制程将弃用high-NA EUV技术
来源:陈超月 发布时间:2025-04-29 分享至微信
据Wccftech报导,台积电在加州举办的北美技术论坛上,公布了下一代A14先进制程技术的规划。外界普遍关注该技术是否会采用高数值孔径(high-NA)极紫外光(EUV)微影技术。然而,台积电业务开发资深副总裁张晓强明确表示,A14制程将不会采用high-NA EUV技术,而是继续依赖现有的0.33-NA EUV技术。

张晓强指出,从2纳米到A14制程,台积电能够通过现有技术保持制程复杂性,无需引入high-NA EUV设备。这一决策的核心在于控制成本。每一代技术迭代中,台积电都力求减少光罩数量的增加,以提供更具成本效益的解决方案。

预计2028年投产的A14芯片,若采用high-NA EUV技术,可能导致生产成本显著上升。因此,台积电选择绕过该技术,以避免高昂的设备投入和潜在的经济负担。

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