获政府支持,日本AIST加速构建先进半导体试产产线
来源:林慧宇 发布时间:2025-03-13
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日本政府支持的产业技术总合研究所(AIST)正加速建设先进半导体试产产线,以应对半导体在经济安全保障中的关键作用。
AIST于2023年10月成立了先进半导体研究中心(SFRC),旨在设立2纳米及以下半导体试产产线,供产业界与学术机构使用。
目前,SFRC已引进16台最先进设备,并整合至现有CMOS生产线,开始运行。研究人员正着手制造环绕式闸极场效晶体管(GAAFET),并进行整条生产线的最佳化,其中制造层结构需约300道制程。
SFRC主任指出,企业技术人员忙于应用研究与产品开发,缺乏深入理解制程科学现象的能力。然而,解析缺陷过程中常能发现新物理现象,掌握其原理可开辟新学理基础,解决这些问题或成为下一代半导体核心技术。
试产产线可供半导体材料与设备制造商验证技术,评估对整体制程的影响,扩展企业内部最佳化范围至整条产线。
AIST透过国家战略性投资成功建构吸引民间企业参与的研究环境,结合产业应用与学理探索。
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