中国半导体设备龙头北方华创宣布，以16.87亿元收购本土设备同业芯源微9.49%股权，成为其第一大股东。此次收购使北方华创顺利进入半导体前段曝光胶制程领域，产品线布局更加完整。

芯源微原股东沈阳先进制造技术产业有限公司将持股转予北方华创，交易总价近16.87亿元。

此外，芯源微另一持股5%以上的股东也计划转让部分股权。预计北方华创完成两步交易后，将共持约芯源微17.9%股权，取得经营主导权。

北方华创指出，双方产品线互补，购并后可望达到综效，此举符合中国半导体产业发展战略，推动资源整合、提高竞争力。芯源微主攻半导体前段设备，包括曝光胶设备等四大领域，受本土晶圆厂客户青睐。

北方华创主要产品线涵盖蚀刻、薄膜沉积等设备，位居中国本土设备龙头。过去通过积极收购，不断扩大规模，如收购美国Akrion Systems强化清洗设备产品线，收购北广科技射频应用技术资产等。

2025年初，北方华创旗下创新投资公司华创创投参与北京IC设备产业投资购并二期基金，出资5.1亿元，占基金比重近20.4%。

这表明北方华创的发展雄心不仅限于主流制程领域，未来将积极扩展产品平台，往更上游前段曝光胶机台进军，有望逐步成为中国半导体设备的领军企业。