台积电为达成净零排放目标，积极推动绿色低碳供应链，将减碳绩效纳入选商指标，并订定减碳移动指引。

针对在台设厂的第一阶原物料供应商，台积电推出总额8400万元新台币的减碳补助计划，鼓励其更新、汰换或新设相关设备以提升减排效益。

2024年，共有26家供应商通过提案评选，带动整体减碳投资55亿元新台币，碳排量减少45万公吨。台积电预计2025年2月再次启动申请，持续推动供应链绿色转型。

台积电重视供应链碳排放，调查显示，第一阶原物料供应商约有一半碳排放来自工厂营运的直接排放及能源间接排放。因此，补助计划优先聚焦在台设有合法登记证且愿意投资节能减碳设备的供应商。

台积电与外部专家对提案进行评选，通过后搭配第三方稽核单位访视供应商厂区，确保减碳如期完成。

2025年，台积电将提高新兴技术相关提案的补助额度，纳入供应商营运规模与减碳能力考量，规划不同年减碳量标准，吸引更多供应商参与并从中受益。