苏州新施诺半导体设备有限公司近期发布了其第五代天车系统，标志着公司在半导体智能制造领域的技术创新达到新高度。

这款天车系统针对晶圆厂内的AMHS自动物料搬送系统进行了全面优化，对提升晶圆厂稼动率和产品良率至关重要。

新施诺作为全球领先的AMHS设备和软件整体解决方案提供商，借势国产替代机遇，持续推动AMHS系统的迭代升级。

其第五代天车在稳定安全性、集成控制化等核心指标上均有显著提升，运行速度达5.33m/s，快速装载仅需9.4秒，大幅减少了物流时间。同时，转弯动作流畅，振动幅度大幅降低，搬运重复精度控制误差在0.5mm以内，确保了晶圆的安全搬运。

在软件方面，新施诺通过硬软件协同迭代，优化了调度算法，实现了物料运输的最优路径选择，提高了生产效率。

新一代软件管理系统还与晶圆厂的其他设备、软件连接，实现了对整个半导体工厂搬运信息的有效追踪，为工厂管理者提供了可靠、实时的数据信息。