台积电成功研发出能有效去除废液杂质的纯化处理技术，针对四甲基氢氧化铵（TMAH）废液进行再利用。

该技术已导入晶圆十四B厂，并将于11月起在晶圆十二A厂、晶圆十四A厂、晶圆十五A厂逐步使用。预计全部上线后，年减新液采购量2.4万公吨，减碳2496公吨。

TMAH是半导体黄光制程用量最大的化学品，台积电与供应商共同投入TMAH废液回收再生研究，以期增加循环使用率。

台积电不仅提升管制回收用纯水与盐酸品质，避免不纯物污染，还协助供应商新增高效滤网，改善环境洁净度。

完成纯化阶段的TMAC经电解成电子级TMAH后，通过强化过滤品质，确保其规格达到回用标准。

台积电预计12月完成电子级异丙醇（IPA）开发，2025年导入厂区使用，并持续评估稀释剂（Diluent）废液纯化为电子级物料的可能性，精进循环再生技术。