随着半导体产业逼近摩尔定律极限，EUV技术成为7纳米以下芯片生产的关键。
美国商务部与国家半导体技术中心（NSTC）营运商Natcast宣布，将投资8.25亿美元在纽约Albany NanoTech园区设立EUV加速器，由NY CREATES营运。
该设施旨在推动EUV技术研发，对美国在全球半导体竞争力至关重要，将加速先进制程技术进步。计划2025年启用标准NA EUV设备，2026年导入高NA EUV设备。此外，还将促进NSTC成员、学术界及产业界合作，培养半导体人才。
EUV加速器具备先进EUV微影技术与次时代研发能力，分阶段实现标准NA EUV及高NA EUV。Natcast与NY CREATES已签署非约束性备忘录，期望建立10年合作合约，未来几月将公布其他技术中心选址。
