上海车仪田科技有限公司，自2022年6月成立以来，专注于半导体设备专用光电控制子系统的研发制造。凭借近二十年的半导体产品产业化经验，车仪田已成为国内半导体设备龙头企业的战略合作伙伴。
近日，车仪田重磅推出NDIR（非分散红外）气体浓度仪，该产品采用非色散红外光谱吸收原理，通过检测清洗工艺中氟化物等特定气体的浓度变化，精准判断腔体清洗状态，有效避免清洗不足或过度。该产品已应用于多家头部半导体设备企业的CVD镀钨、镀硅腔体清洗检测等领域。
NDIR气体浓度仪拥有多项核心技术，包括宽波段远红外光源、标准气路管道接口、滤波片和热敏芯片探测元以及自动终点检测功能。
其创新点在于多通道长程光路设计，准直光路消除杂散光，提高能量利用率，同时采用D、F工艺处理，增强低浓度气体检测精准度，防止腐蚀气体损坏气体通道。
