半导体产业资源消耗大，生产过程中排放大量温室气体。为达成净零目标，低碳电力成为半导体业者的关键策略。除直接排放外，供应链中的间接排放也不容忽视，因此供应链合作减碳成为重要方向。

全球半导体大厂如英特尔、三星、美光等纷纷设定净零目标，其中英特尔最为积极，承诺2040年实现净零排放。台积电虽将RE100目标提前至2040年，但再生能源使用占比仍低于国际大厂。

国际财务报导准则要求企业揭露温室气体排放，包括范畴一、二和三。半导体业者不仅已揭露范畴一、二排放，还积极进行范畴三盘查，找出碳排热点并制定减碳规划。

在营运端，半导体业者主要关注电力使用的再生能源替代和能源效率提升，台积电首创再生能源联合采购模式。在排放源范畴一，台积电、联电等长期致力于制程用含氟温室气体减量。

在价值链端，半导体业者通过上游合作减碳、提高产品能效和低碳产品研发，以及下游的自然碳汇、负碳技术和碳权投资等方式推动减碳。多数半导体业者还投入供应链减碳，开发相关数码平台或工具，协助供应商减碳。