俄罗斯:光刻激光器生产线即将启动
来源:ictimes 发布时间:2024-10-02 分享至微信

根据俄罗斯科技媒体CNews报道,国家计划在2026年后启动一条国产准分子激光器的生产线,目标是每年组装至少五台激光器,这标志着国内光刻技术的重大进步。


负责激光器开发的拉萨德集团副部长瓦西里·什帕克(Vasily Shpak)透露,激光器的测试工作将于2025年展开。该激光器将被应用于初步设计为350nm工艺的光刻机中,预计其性能将提升至130nm,助力更先进芯片的生产。这一进展虽距离当前最先进的3nm工艺还有一定差距,但为未来的发展奠定了基础。


值得一提的是,潜在的客户群体已经初步确定,其中包括自称为俄罗斯第一芯片制造商的“Микрон(Mikron)”。这一合作关系不仅可以推动国内半导体市场的发展,也能增强俄罗斯在全球半导体产业链中的竞争力。


什帕克表示,这一激光器未来有潜力支持90nm及65nm的生产工艺,表明俄罗斯在光刻技术领域的持续创新。尽管目前尚未确定具体的生产启动时间,但光刻机的问世无疑将为俄罗斯半导体产业的复兴注入新的活力。


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