近日，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》（以下简称《目录》）通知，旨在加速推动国内具有自主知识产权的重大技术装备的创新发展与市场普及。

在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）等集成电路关键生产设备。其中，氟化氪光刻机具有248纳米光源、≤110nm的分辨率以及≤25nm的套刻精度；而氟化氩光刻机具有193纳米光源、≤65nm的分辨率和≤8nm的套刻精度。

工信部微信公众号“工信微报”介绍，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。