在手订单超26亿元!芯源微首台高温硫酸化学清洗机将启用
来源:ictimes 发布时间:2024-09-02 分享至微信

2024年8月29日,芯源微发布了其最新的订单和战略新品进展公告,显示出公司在半导体设备领域的显著成就。2024年上半年,芯源微新签订单总额达12.19亿元人民币,同比增长约30%。


尤其值得注意的是,公司在前道涂胶显影和后道先进封装、小尺寸领域的订单增长明显,Chiplet领域的新产品订单更是暴增十倍。此举标志着芯源微在国内市场的强劲发展势头。


此外,芯源微在公告中透露,2024年8月30日,首台由公司自主研发的前道单片式高温硫酸化学清洗机KS-CM300将在上海临港新厂区启运。这款设备的研发代表了行业的一次重要突破,旨在打破国外企业对高温硫酸清洗技术的垄断。KS-CM300适用于多种半导体制造工艺,其高温SPM清洗工艺被认为是28nm/14nm制程中要求最严格的技术之一。


这一设备不仅在性能和工艺上达到国际先进水平,还能在连续处理十万片的条件下保持优良的清洗效果,满足Up-Time≥95%、刻蚀均一性≤2%的高标准要求。芯源微的这一创新进展具有重要的战略意义,将为国内客户提供更具自主控制的高端清洗解决方案,并进一步推动国产半导体设备的发展。


芯源微的成功不仅展现了其强大的研发能力,也为中国半导体产业的自主可控提供了有力支持。随着首台KS-CM300的启用,芯源微正稳步迈向行业的前沿,迎接未来的挑战与机遇。

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