SK海力士引领创新:AI赋能蚀刻工艺,重塑半导体制造未来
来源:ictimes 发布时间:2024-08-14 分享至微信

在半导体制造领域,技术创新始终是推动行业发展的核心动力。近日,韩国媒体传来振奋人心的消息,SK海力士,这家全球知名的半导体巨头,正计划在其关键的蚀刻工艺中引入先进的AI解决方案,标志着半导体制造工艺智能化转型的又一重要里程碑。


SK海力士的子公司Gauss Labs,作为AI技术应用的先锋,近期发布了Panoptes VM 2.0版——一款基于AI的虚拟计量解决方案。这款解决方案的亮点在于其强大的预测能力,它能够通过分析设备传感器收集的海量数据,精准预测制造过程的结果,从而省去了繁琐的物理全尺寸测量步骤,极大地提升了生产效率和资源利用率。


回顾Gauss Labs的过往成就,Panoptes VM 1.0自2022年11月发布以来,便迅速在SK海力士的量产工厂中展现出其非凡的价值。特别是在薄膜沉积工艺中的应用,不仅将工艺差异显著降低了约29%,还大幅提升了成品率,为SK海力士的制造流程带来了革命性的变化。


如今,SK海力士决定将这一成功经验复制到更为复杂的蚀刻工艺中。蚀刻作为半导体制造中不可或缺的一环,其精度和效率直接影响到最终产品的性能和质量。通过引入Panoptes VM 2.0,SK海力士期望能够进一步提升蚀刻工艺的精准度,减少误差,从而生产出更高品质的半导体产品。


Gauss Labs在Panoptes VM 2.0中新增的多项功能更是为这一目标的实现提供了有力保障。多步骤建模功能允许利用待预测工序和已完成工序的数据进行综合分析,有效提升了虚拟计量的精度,特别是对于受先前工序影响较大的蚀刻工序而言,这一功能显得尤为重要。此外,“相似工序综合建模”功能通过整合相似工序的数据,有效缓解了数据不足的问题,而“自动算法选择”功能则能根据数据特点自动匹配最佳预测算法,进一步提升了虚拟计量的质量和用户的操作便捷性。


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