自动化异常管制计划助力晶圆厂减少人为错误
来源:ictimes 发布时间:2024-07-31 分享至微信

在半导体生产中,人为错误导致将近50%的报废,而自动化异常管制计划(OCAPs)的实施是减少这一问题的关键。OCAPs允许工程师通过一系列标准化任务快速响应生产过程中的异常,以期尽快恢复设备运行。


然而,实施OCAPs面临数据分散和不完整性的挑战。控制计划所需的数据通常分布在不同的系统中,如统计过程控制(SPC)和故障检测与分类(FDC),这些系统的数据集成方法和模型各不相同。此外,工程师需要能够正确理解并执行恢复步骤。


为了解决这些问题,SmartFactory Knowledge Advisor提供了一个集成的工作流引擎,通过AI引导用户、制定行动计划、提供直观的用户界面体验,减少人为解释的可变性,并管理行动跟踪。Knowledge Advisor能够整合来自任何应用材料E3™解决方案的数据,包括APC、SPC、FDC和RM,促进从各种来源收集数据。


与其他OCAP解决方案相比,Knowledge Advisor的独特之处在于其能够利用E3的全部功能,提供一个通用平台,使工程师能够更有效地管理配方、设备、SPC和FDC违规。这不仅减少了管理点,还提高了处理违规的效率。


结论是,在晶圆厂中,自动化OCAPs对于减少因人为错误导致的报废和停机至关重要。Knowledge Advisor通过其集成和决策能力,提供了一种成本效益高的解决方案,帮助用户更有效地解决设备和流程问题,减少重复违规,改进审计合规性,并标准化错误处理活动。SmartFactory的自动化解决方案在半导体行业的应用已超过30年,拥有一流的专业技术。

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