三星:第9代V-NAND将应用钼(Mo)元素
来源:ictimes 发布时间:4 天前 分享至微信

三星电子正引领半导体存储技术的一场深刻变革,其最新举措是在第9代V-NAND的生产工艺中大胆引入钼(Mo)材料,以突破传统技术瓶颈,实现性能与密度的双重飞跃。据可靠消息,三星已从泛林集团购置了首批5台钼沉积机,并计划在未来一年内再增购20台,以加速这一创新技术的应用步伐。


不同于广泛使用的六氟化钨(WF6),钼前驱体以固态形式存在,需经过精密设备加热至600摄氏度方能转化为气态,这一独特的物理特性为其在V-NAND制造中的应用开辟了新路径。三星巧妙地在氧化物-氮化物-氧化物(ONO)结构中用钼替代了钨,这一举措不仅提升了晶体管的电阻率,更为NAND芯片堆叠更多层数提供了可能,进一步推动了存储密度的极限。


尤为值得关注的是,钼的应用还带来了显著的性能提升。通过降低层间高度约30%至40%,三星成功减小了NAND的延迟,为用户带来更加流畅的数据处理体验。这一技术突破无疑将重塑NAND材料价值链,推动整个行业向更高层次发展。


为了确保钼材料的稳定供应,三星已与英特格(Entegris)和Air Liquide等全球领先的材料供应商建立了紧密的合作关系,同时,默克等知名企业也积极向芯片制造商提供钼材料样品,以抢占市场先机。此外,SK海力士、美光和铠侠等业内巨头也纷纷跟进,计划在其NAND生产中引入钼材料,共同推动这一技术变革的深入发展。

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