随着半导体制造工艺的不断进步，电子束检测技术因其高精度和适用性，逐渐成为行业的核心手段。东方晶源作为国内最早涉足这一领域的企业之一，在电子束检测设备的研发和应用上取得了显著成果。

东方晶源自2019年推出首款电子束缺陷检测设备SEpA-i505以来，不断迭代优化，新一代机型SEpA-i525不仅在检测速度上提升了3-5倍，还扩展了应用场景，支持负模式检测和高束流。其先进的图像处理和分类算法显著提高了缺陷捕捉率和分类准确性，为集成电路制造提供了可靠的缺陷监控解决方案。

东方晶源的CD-SEM设备覆盖了12英寸和6&8英寸两大产品系列，适用于各种图形尺寸的测量。最新款12英寸机型SEpA-c430在量测精度和速度上都有显著提升，满足28nm产线需求，并引入了晶圆表面电荷补偿功能。而6&8英寸机型SEpA-c310s则兼容多种材质和厚度的晶圆，已在多个客户产线实现量产验证。

针对未来市场需求，东方晶源推出了首款DR-SEM设备SEpA-r600TM，满足12英寸产线的复检需求。其自主研发的光学窗口成像系统，实现了对无图样晶圆的光学复检，进一步提升了检测能力。该设备的高电压电子枪可分析浅层和深层缺陷，并配备全彩OM，满足不同材料的检测需求。

东方晶源的电子束检测设备通过不断的技术创新和产品迭代，解决了国产半导体制造中的关键难题，推动了国内半导体行业的快速发展。未来，东方晶源将继续在集成电路良率管理领域深耕细作，为行业带来更多创新性的硬件和软件产品，助力产业进步。