5.48亿!光驰半导体原子层镀膜与刻蚀设备项目竣工
来源:ictimes 发布时间:2024-06-19 分享至微信

近日,光驰半导体技术(上海)有限公司宣布,其投资建设的原子层镀膜与刻蚀设备项目顺利完成竣工验收。这一项目位于宝山高新区07-17地块,总投资5.48亿元,占地面积50亩,总建筑面积6.44万平方米,包括一期建筑面积约3.8万平方米,涵盖标准厂房、研发办公楼等。该项目的主要目标是推动新型电子元器件及设备制造,利用全球泛半导体产业链的调整和前沿研发投入,实现电子专用设备制造的产业化和规模化。


光驰半导体技术(上海)有限公司是光驰科技(上海)有限公司的全资子公司,自2000年起,光驰科技即在宝山高新区南部园区运营。2022年,光驰科技将传统光学与半导体技术融合,进一步在北部园区投资设立光驰半导体,扩展制造空间与产能,开拓光学元器件向半导体集成光学转型的新市场。预计项目达产后,年产能将达到高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机。


此次竣工验收标志着光驰半导体在半导体制造领域迈出了重要一步。光驰半导体技术(上海)有限公司相关负责人表示:“我们将继续深化技术整合,加强创新研发,为全球电子产业链的进步贡献力量。”


光驰半导体技术(上海)有限公司半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期于2023年4月10日正式封顶,这不仅是对公司技术实力的肯定,也是对宝山高新区产业发展的积极推动。


这一项目的顺利建设,不仅为地方经济增长注入新动力,同时也为全球半导体行业的技术进步贡献了中国智慧和力量。


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