SK海力士与三星押注1c DRAM制程,引入新一代光阻剂技术
来源:ictimes 发布时间:2024-06-05 分享至微信

在全球半导体行业持续演进,尤其是DRAM技术不断向细线路化方向发展的背景下,韩国两大半导体巨头SK海力士和三星电子正积极寻求技术突破,以巩固其在市场中的领导地位。


最新的消息显示,两家公司均有意在1c(10纳米第六代)DRAM量产中引入新一代金属层氧化光阻剂(MOR),以进一步提升制程效率和产品质量。


据业界消息,SK海力士与Infria达成合作,计划在其1c DRAM量产中采用Infria的极紫外光(EUV)用MOR产品。这一先进材料将用于DRAM曝光制程的关键部分,实现更精细的线路制作。


SK海力士表示,他们正与合作伙伴共同开发新材料,以提升产品竞争力。MOR的引入将有望降低EUV制程成本,为新一代DRAM带来更高的效能和可靠性。


与此同时,三星电子也在考虑在其1c DRAM的EUV制程中引入MOR。这一举措显示出三星对新技术应用的积极态度,以及对提升产品性能的不懈追求。


Infria作为无机物为基础的光阻剂领先企业,将与SK海力士和三星等半导体企业紧密合作,共同推动MOR技术的研发和应用。随着新技术的不断成熟和应用,半导体行业将迎来更加广阔的发展前景。


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