芯片制造中会产生大量的废水，如何处理在生产过程中产生的废水。特别是含氟废水，是必须考虑的问题。

什么是含氟废水？
含氟废水是指在生产过程中产生的废水，其中含有一定浓度的氟离子。

含氟废水怎样产生？
在湿法工序中，常用氢氟酸或BOE刻蚀氧化硅，玻璃等，会产生含氟废水。

含氟废水有什么危害？
氟化物在一定浓度下可以对鱼类和其他水生生物产生毒性，并影响水生植物的生长。当人体食用这些动植物或饮用了含氟的水后，氟离子在人体内留存且不容易降解排出，长期摄入大量的氟可能导致骨骼氟中毒，会导致骨骼疼痛，骨骼脆弱等问题。

含氟废水的处理方法
理论上来说，处理方法主要有化学沉淀法、吸附法、混凝沉淀法、电凝聚法、离子交换法、反渗透膜法、液膜法、电渗析法等。大规模芯片厂由于处理的含氟废水量较大，一般使用化学沉淀法。

化学沉淀法是先在含氟废水中加入过量的CaCl2或Ca(OH)2，再加入一定量PAC 或PAM或PFS等絮凝剂使之凝集沉淀为CaF2及水，再用脱水机脱水形成片状CaF2污泥。处理后的污泥用塑料袋包装后运出芯片厂。

含氟废水处理的基本原理

为什么加入过量的钙离子？

CaCl2+2HF==CaF2 +HCl
Ca(OH)2+2HF==CaF2 +2H2O

CaF2，白色或无色晶体，在水中几乎不溶。加入过量钙离子就是要把废水中的F离子全部消耗掉，形成CaF2与水的悬浮液，便于后续处理。

为什么要加入絮凝剂？

氟化钙的溶度积常数较大，使得钙离子在深度除氟过程中的作用有限。那么加入PAC,PAM,PFS这些絮凝剂，利用铝、铁聚合物的絮凝、吸附等作用，将CaF2与水的悬浮液中的CaF2与水分离，转化为CaF2沉淀与水。

PAC (聚合氯化铝),作为絮凝剂，用于饮用水和工业废水处理,可以去除水中的悬浮物、有机物和某些金属离子。比传统的氯化铝效果好，给水引入的盐分更少。

PAM (聚丙烯酰胺),化学式(-CH2-CHCONH2-)n，一种常见水处理絮凝剂。

PFS (聚合硫酸铁)，常用于高色度、高有机物的水，可以有效去除水中的悬浮物、有机物等。

含氟废水处理到什么程度算安全？

参照国标，含氟废水的排放标准为1-20mg/L，但是有些地方会有更严格的工业废水排放标准。比如江苏省半导体行业污染物排放标准：直接排放限值：≤10mg/L，特别排放限值：≤8mg/L， 间接排放限值：≤15mg/L。