那么，为何英特尔在全资持股IMS约8年后，要出售如此重要EUV供应商的部分持股，给贝恩资本及台积电呢？

外媒The Register先前曾引述Gartner新兴技术副总裁Gaurav Gupta点出，被英特尔全资拥有时，可能会限制IMS的客户，尤其是在该厂致力于与EUV相关的多重电子束光罩写入等新兴领域之际，可能显得绑手绑脚，而英特尔在2023年6月间脱手2成持股予贝恩资本，将有望打开更多合作大门。

在贝恩资本取得IMS约2成股权后，一来有助于说服IMS的其他合作伙伴和客户，令其相信IMS不再完全受制于英特尔，再者，透过英特尔资深副总裁Matt Poirier先前的声明也表示，贝恩资本的投资与合作将替IMS提供更大的「独立性」，并带来战略视角，助力加速下一阶段的微影技术创新。

对英特尔来说，尽管控制一家重要的EUV供应商，可以带来竞争优势，但也同样可能减缓对于大规模量产芯片至关重要的相关产业标准的制订。

外媒AnandTech指出，IMS所处的领域并非英特尔的核心业务，而蓬勃发展的半导体生态系远比短期获利更重要，这其实也是何以英特尔并不忧心脱手ASML或IMS等公司的股份，并替竞争对手提供一些优势。

英特尔表示，决定向贝恩资本和台积电提供部分业务的动机是，希望为IMS提供更大的自主权。外媒解读其逻辑似乎是，将IMS的一部分分给台积电和贝恩等公司，应该会让与IMS开展业务比完全受英特尔控制时更具吸引力。

诚然，一如外媒AnandTech与The Register均同时点明，脱手合计共3成IMS的股权，英特尔可入袋大约12亿美元，提供亏损累累的英特尔急需的现金。

在此同时，有监于光罩写入设备在半导体产业向高数值孔径EUV微影（High-NA EUV lithography）等新技术过渡中，发挥着核心作用。在贝恩资本介入后，英特尔也可携手台积电，助力IMS参与更深入的跨产业合作。

事实上，脱手晶圆厂设备制造商的持有股权，其实也符合历来英特尔的总体战略，英特尔曾经入股ASML，帮助该厂开发EUV设备提供资金，但随后也脱手ASML持股。

随着EUV变得愈加普遍，并且ASMLCEOPeter Wennink日前受访路透（Reuters）证实，高数值孔径新时代EUV微影设备将在2023年底开始出货，目前组装进度顺利。

在高数值孔径EUV微影设备陆续在2025年后转向大规模量产伊始，IMS将面临更有意义的机遇，身为全球极少数第一批导入高数值孔径EUV设备的英特尔、台积电，透过合作来推进IMS多重电子束光罩写入工具的创新，最终将使整个生态系受益。

责任编辑：张兴民