随着SiC应用领域的扩展，需求的激增，产业对于SiC外延片品质和产能要求不断提高，SiC外延设备也就占据了产业链上游关键环节。
最新突破 | 纳设智能成功研发8英寸碳化硅外延设备！
来源:化合物半导体 发布时间:2023-08-31 
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