【综述】哈工大朱嘉琦教授团队:终端金刚石能带结构与物理性能的研究进展
来源:宽禁带半导体技术创新联盟 发布时间:2023-07-20 分享至微信

摘要:5G 通信、能源互联网、新能源汽车、量子技术等高精尖领域对半导体的性能提出了新的更高的要求。第四代半导体金刚石因具有优异的物理化学性能被誉为“终极半导体”,被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最理想的材料。而浅 n 型掺杂的技术瓶颈一定程度阻碍了金刚石半导体应用的发展。表面终端研究为金刚石功能化的发展提供了新的策略金刚石通过表面终端实现了场效应晶体管、肖特基二极管、日盲紫外探测器、电子发射器件和近表面色心调控等重要应用,而表面终端发挥作用的机理与其能带结构特点密不可分。本文综述了几种常见终端的能带研究方法,分析其能带的结构特点,结合特点介绍其发挥作用的机理,并进行了总结和展望。



关键词:金刚石;表面终端;能带结构;二维空穴气;肖特基结;紫外探测

文章信息


文章题目:终端金刚石能带结构与物理性能的研究进展
期刊:人工晶体学报
作者与单位:
乔鹏飞1 ,刘康1,代兵1,刘本建1,张森1,张晓晖1,朱嘉琦1,2

1. 特种环境复合材料技术国家级重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨150001;

2. 微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学),哈尔滨 150001


通讯作者


朱嘉琦,哈尔滨工业大学航天学院教授、博导

《人工晶体学报》编委。国家杰出青年基金获得者万人计划领军人才,装备发展部装备维修工程系统可靠性领域专家,科工局科技创新领域专家,国防科技创新团队带头人 主要从事晶体及薄膜等研究,担任中国材料研究学会极端材料与器件分会副主任中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会副理事长中国仪表材料学会副理事长中国机械工程学会表面工程分会副主任,Functional DiamondAdvanced Materials Devices 副主编


刘康,哈尔滨工业大学副教授、博士生导师

主要从事金刚石晶体生长、金刚石探测器、金刚石色心荧光调控金刚石微波功率器件及金刚石表面态相关研究工作,主持国家自然科学基金国家部委重点基础研究课题黑龙江省优秀青年基金黑龙江省重点研发计划等项目Advanced MaterialsCarbonApplied Physics Letters等期刊发表SCI论文40余篇,担任Functional Diamond期刊青年编委获黑龙江省科学技术发明一等奖中国专利奖金奖及黑龙江省专利金奖各1项。


原文



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