
从2015年ASML宣布正式出货,首部支持多重曝光的浸润式微影机台TWINSCAN NXT:1980Di,象徵多重曝光微影技术发展跨入新的里程碑后,金融时报(FT)估计,ASML每年在全球出货的浸润式DUV系统不到100台,其中约20%此前销往国内。
在ASML既有的4种浸润式DUV系统中,除了前述的NXT:1980Di机种外,ASML日前表示,另外3种型号的高端浸润式DUV微影设备,包含TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i和NXT:2100i将受到列管并被荷兰政府管制出口。
究竟目前国内的晶圆厂,已有多少微影设备导入运作呢?
据Potilico引述荷兰外贸大臣Liesje Schreinemacher日前表示,估计已有数百台ASML DUV机器在国内投入使用,但这同时也包括乾式系统在内。
此外,Schreinemacher也强调,列管的高端浸润式DUV系统,预计每年大约有20个许可证申请,仅占受影响公司(指ASML)总产品组合的有限部分。这个数据,也与外媒估计每年出口国内的高端DUV系统相近。
也就是说,这次荷兰政府新规,首当其冲的将是这每年约20台、ASML出口国内厂商的高端浸润式DUV系统。
南华早报也报导指出,尽管目前TWINSCAN NXT:1980Di,仍允许向国内出货,ASML日前也表示并未遭到列管,但外媒传出,这款能够透过多重曝光、推进10纳米级芯片生产的微影设备,恐将因其美制组件成分,遭到美国政府管制输中。
ASML最近5年来陆续量产出货的高端浸润式DUV曝光机台,分别是2018年出货的Twinscan NXT:2000i DUV,以及分别在2020年与2022年出货的TWINSCAN NXT:2050i与NXT:2100i等3款机种,均能支持10纳米以下先进制程芯片量产,这3种机型如今也在荷兰政府列管名单上。
对此,尽管国内官方试图说服荷兰放弃收紧出口限制,而且其最新的出口管制,似乎也为国内业者使用ASML的NXT: 1980Di微影设备留下空间,但在美国的进一步压力下,这种情况可能会发生变化。
在ASML原先的规划中,在10纳米以下的制程节点,芯片制造商可望同时使用浸润式微影和EUV微影技术,而NXT:1980Di是特别设计来符合这种混合式系统架构,可与EUV相互匹配,达到叠对精度。
即便没有搭配EUV系统,NXT:1980Di本身支持的多重曝光,也能延伸10纳米级的芯片量产。
而在国内晶圆厂约已有数百台ASML DUV机台投入运作,估计装机运行的浸润式机台最多约100多台。在2023年荷兰政府收紧管制后,国内业者仍有人希望国内能够找到一条不同的前进道路。
南华早报引述中芯国际20年老兵、公司资深副总裁韩迪表示,国内必须找到新的方式融入跨境供应链。他表示,传统的产业合作模式,如今面临新的挑战和机遇,他建议国内重点发展芯片材料和零组件,借此发展先进芯片制造能力。
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