8吋! 2家SiC企业公布关键进展
来源:第三代半导体风向 发布时间:2023-06-22 分享至微信

各位行家,端午安康。今天,“行家说”为你带来2条8吋SiC的内容服务:

●科友半导体:突破关键8吋SiC单晶量产技术,为大规模量产奠定基础。

● 天成半导体:成功研发8吋SiC单晶。

科友半导体:

实现8吋SiC量产技术突破

2023年4月,科友半导体8英寸SiC中试线正式贯通,并进入中试线生产。

今天(6月22日),科友半导体宣布,他们实现了8英寸SiC单晶的量产关键技术突破,在晶体尺寸、厚度、缺陷控制、生长速率、制备成本及装备稳定性等方面取得可喜成绩。
  • 尺寸和厚度方面,科友的8英寸SiC晶体直径超过210mm,厚度目前稳定在15mm以上。
  • 缺陷控制方面,科友半导体8英寸晶体的微管密度<0.1个/cm2,位错缺陷密度<5000个/cm2。
  • 生长速度方面,科友半导体8英寸SiC晶体开发出了快速生长工艺技术,长晶速率已达到170μm/h以上,长晶周期约为4-5天,单台长晶炉设备每月运转约6-7炉次。长晶工艺时长短结合设备运转次数多,进一步降低了制造成本,为大规模8英寸衬底量产奠定了基础。
  • 长晶良率是8英寸碳化硅晶体低成本产业化的关键,科友半导体开发出适用于8英寸SiC稳定生长的工艺技术,大幅提升了长晶的稳定性、重现性。

目前,科友半导体8英寸SiC中试线平均长晶良率已突破50%,晶体厚度15mm以上,有望成为我国大尺寸低成本碳化硅规模化量产制造技术的领跑者。

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山西天成半导体:

成功研发出8吋SiC单晶

今天(6月22日),“行家说三代半”在调研中了解到,国内还有1家企业——山西天成半导体——也实现了8吋SiC单晶技术研发突破。

天成半导体透露,他们这次开发出的8吋SiC单晶直径达到202mm,各项参数指标良好。

天成半导体成立于2021年8月成立,2022年4月,天成半导体仅用半年时间就顺利完成了中试投产,已经实现了6英寸导电型和半绝缘型碳化硅晶锭的小批量生产。

白皮书参编申请

行家说2023版碳化硅白皮书氮化镓白皮书已正式启动调研,将于今年12月正式发布。


企业参编请咨询:
陈女士 Tristar
微信号:13570314186

《2023碳化硅(SiC)产业调研白皮书》部分目录:

第二章 SiC产业关键技术进展

2.1 SiC特性及技术优势

2.2 SiC单晶生长及衬底加工工艺分析

2.3 SiC外延技术分析

2.4 SiC功率器件技术进展及趋势分析

2.5 SiC分立器件封装技术进展及趋势分析

2.6 SiC模块技术进展及趋势分析

2.7 SiC关键设备和材料技术分析

2.8 核心SiC技术在中国国产化的挑战分析

第三章 全球SiC半导体产业竞争格局

3.1 全球与中国SiC产业发展历程与所处阶段

3.2 各国/区域SiC代表厂商

3.3 SiC衬底竞争格局

3.4 SiC外延竞争格局

3.5 SiC器件/模块竞争格局

3.6 SiC关键设备/材料竞争格局

《2023氮化镓(GaN)产业调研白皮书》部分目录:

第二章 GaN产业关键技术进展

2.1 GaN特性及技术优势

2.2 GaN单晶生长及衬底加工工艺分析

2.3 GaN外延技术分析

2.4 GaN功率器件技术进展及趋势分析

2.5 GaN器件/模块封装技术进展及趋势分析

2.6 GaN关键设备和材料技术分析

第四章 全球GaN半导体产业竞争格局

4.1 全球与中国GaN产业发展历程与所处阶段

4.2 各国/区域GaN代表厂商

4.3 GaN衬底竞争格局

4.4 GaN外延竞争格局

4.5 GaN器件/模块竞争格局

4.6 GaN关键设备/材料竞争格局

了解更多白皮书信息,请点下方“阅读原文”。

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