各位行家,端午安康。今天,“行家说”为你带来2条8吋SiC的内容服务:
●科友半导体:突破关键8吋SiC单晶量产技术,为大规模量产奠定基础。
● 天成半导体:成功研发8吋SiC单晶。
科友半导体:
实现8吋SiC量产技术突破
2023年4月,科友半导体8英寸SiC中试线正式贯通,并进入中试线生产。
尺寸和厚度方面,科友的8英寸SiC晶体直径超过210mm,厚度目前稳定在15mm以上。 缺陷控制方面,科友半导体8英寸晶体的微管密度<0.1个/cm2,位错缺陷密度<5000个/cm2。 生长速度方面,科友半导体8英寸SiC晶体开发出了快速生长工艺技术,长晶速率已达到170μm/h以上,长晶周期约为4-5天,单台长晶炉设备每月运转约6-7炉次。长晶工艺时长短结合设备运转次数多,进一步降低了制造成本,为大规模8英寸衬底量产奠定了基础。 长晶良率是8英寸碳化硅晶体低成本产业化的关键,科友半导体开发出适用于8英寸SiC稳定生长的工艺技术,大幅提升了长晶的稳定性、重现性。
目前,科友半导体8英寸SiC中试线平均长晶良率已突破50%,晶体厚度15mm以上,有望成为我国大尺寸低成本碳化硅规模化量产制造技术的领跑者。
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山西天成半导体:
成功研发出8吋SiC单晶
今天(6月22日),“行家说三代半”在调研中了解到,国内还有1家企业——山西天成半导体——也实现了8吋SiC单晶技术研发突破。
天成半导体透露,他们这次开发出的8吋SiC单晶直径达到202mm,各项参数指标良好。
天成半导体成立于2021年8月成立,2022年4月,天成半导体仅用半年时间就顺利完成了中试投产,已经实现了6英寸导电型和半绝缘型碳化硅晶锭的小批量生产。
白皮书参编申请
《2023碳化硅(SiC)产业调研白皮书》部分目录:
第二章 SiC产业关键技术进展
2.1 SiC特性及技术优势
2.2 SiC单晶生长及衬底加工工艺分析
2.3 SiC外延技术分析
2.4 SiC功率器件技术进展及趋势分析
2.5 SiC分立器件封装技术进展及趋势分析
2.6 SiC模块技术进展及趋势分析
2.7 SiC关键设备和材料技术分析
2.8 核心SiC技术在中国国产化的挑战分析
第三章 全球SiC半导体产业竞争格局
3.1 全球与中国SiC产业发展历程与所处阶段
3.2 各国/区域SiC代表厂商
3.3 SiC衬底竞争格局
3.4 SiC外延竞争格局
3.5 SiC器件/模块竞争格局
3.6 SiC关键设备/材料竞争格局
《2023氮化镓(GaN)产业调研白皮书》部分目录:
第二章 GaN产业关键技术进展
2.1 GaN特性及技术优势
2.2 GaN单晶生长及衬底加工工艺分析
2.3 GaN外延技术分析
2.4 GaN功率器件技术进展及趋势分析
2.5 GaN器件/模块封装技术进展及趋势分析
2.6 GaN关键设备和材料技术分析
第四章 全球GaN半导体产业竞争格局
4.1 全球与中国GaN产业发展历程与所处阶段
4.2 各国/区域GaN代表厂商
4.3 GaN衬底竞争格局
4.4 GaN外延竞争格局
4.5 GaN器件/模块竞争格局
4.6 GaN关键设备/材料竞争格局
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