天狼芯公布专利 系垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片
来源:功率半导体生态圈 发布时间:2023-06-01
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集微网消息,天眼查消息显示,深圳天狼芯半导体有限公司“一种垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片”专利公布,申请公布日为5月30日,申请公布号为CN116190236A。
图源:天眼查
专利摘要显示,本申请属于半导体技术领域,提供了一种垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片,通过在半导体衬底的正面依次外延生长N型漂移层以及P型开关隔离层,然后对P型开关隔离层的指定区域进行N型掺杂形成电压信道层,以将P型开关隔离层划分为第一开关隔离区和第二开关隔离区,在电压信道层上形成N型连接区,并在N型连接区两侧形成第一源极掺杂层、第二源极掺杂层以及多个交替设置的P型掺杂结构和N型沟道结构,在P型掺杂结构上形成栅极金属层,通过栅极金属层以及鳍状结构的P型掺杂结构感应得到多条电流通道达到源极,由P型掺杂结构上的栅极金属层感应出电流通道即可开启器件,从而可以同时兼顾低成本与器件效能。
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