中电科风华信息装备股份有限公司成立于1998年，注册在山西转型综合改革示范区，是中国电科半导体装备领域核心成员单位，是首批国家级创新型企业，国家级“专精特新”小巨人企业，国家第三代半导体技术创新中心（山西）共建单位。
公司位于山西省太原市，研发人员占比超过60%，每年研发投入占比超过10%，与浙江大学、之江实验室、海康机器人开展产学研用深入合作，在半导体、高端装备、电子信息等领域承担了30余项国家重点科技创新项目。
公司致力于国产高端电子专用装备研发，以“国内卓越、世界一流”为发展目标，聚焦半导体产业高端装备国产化，拥有自主知识产权200余项，获得省部级科技进步奖15项。产品布局分为半导体显示、半导体检测、光伏新能源、汽车电子、微电子等五大专用生产设备板块，能够全方位为客户提供个性化定制服务、系统集成解决方案。
产品描述：
Mars 4410是一款面向SiC衬底片、同质外延片、腐蚀片的自动化缺陷检测设备。设备采用微分干涉相差和光致发光等多种检测手段，具有低噪声和高分辨率成像，高检测通量和高检出率等优势，晶圆检测与数据分析并行处理，晶圆缺陷与器件失效相关联，满足提升SiC晶圆良率的需求。
中电科风华信息装备股份有限公司
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