据企查查最新消息透露，国家集成电路产业投基金二期股份有限公司（简称：大基金二期）投资了半导体设备公司北京烁科中科信电子装备有限公司。

烁科中科信：离子注入机高端装备供应商

据官方资料介绍，北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，由中电48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市经济技术开发区（通州）光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。

北京烁科中科信产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，已形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有40多台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线，12英寸晶圆量产超1500万片，量产工艺段覆盖至28nm。特种注入机和化合物半导体注入机出货几十台。

资料显示截止今年十月底，公司离子注入机团队近300 人，硕士以上学历占比43%。公司获得发明专利授权68项，具备高新技术企业、 博士后科研工作站等资质。

北京烁科中科信电子装备有限公司表示，公司是国内领先且产品门类齐全的集研发、制造、服务于一体的集成电路领域离子注入机供应商。在他们看来，半导体行业有着巨大的发展空间和广阔的应用前景。未来，北京烁科中科信将继续以国产离子注入机研发制造为发展方向，以技术创新和产业化升级为抓手，致力于成为国内顶尖的离子注入机设备供应商，国际一流的离子注入设备服务商。

离子注入机，强势增长

据该公司统计，在今年上半年，北京烁科中科信电子装备有限公司上下顶住压力、迎难而上，奋力实现了“半年红”。截至第二季度末，公司新签离子注入机26台，较往年同期呈几何式增长；销售合同额超4.68亿元，年度目标完成率达134%；营业收入达1.38亿，同比增长194%。创造了上半年业绩的历史最好成绩，彰显了强劲的发展势头。高能离子注入机成功进入客户端开展产线工艺验证，进一步巩固公司的行业地位，擦亮了“烁科”品牌。

他们同时强调，公司自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，实现了我国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案，有效缓解了我国芯片制造领域断链、短链难题。