本期主题：MOCVD工艺计量
报告作者：Thomas Zettler等
内容概览：
* MOCVD 计量快速回顾过去的一些里程碑
* 当前的计量挑战（VCSEL、UV LED、电力电子）
* VCSEL、DBR、SESAM 的最新计量
* UV LED：含 III Ns 的高 Al 原位计量
* 最新晶圆温度传感：pHEMT、VCSEL、UV LED
* 总结与展望
来源：芯tip
【报告分享】MOCVD工艺计量
来源:宽禁带半导体技术创新联盟 发布时间:2022-12-07 
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