三星首次采用韩国本土EUV光刻胶 打破日企垄断
来源:电子产品世界 发布时间:2022-12-06
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据报道,三星首次引入韩国本土公司东进世美肯(Dongjin Semichem)研发的EUV光刻胶(EUV PR)进入其量产线,这也是三星进行光刻胶本土量产的首次尝试。在2019年经历与日本的光刻胶等关键原料的供应风波之后,三星就在尝试将关键原料的供应本土化,经过三年的努力,韩国实现了光刻胶本地化生产。

光刻胶是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射后,溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于积体电路和分立器件的细微图形加工:当用半导体曝光设备照射光时,会发生化学反应并改变物理性质,通过用显影剂冲洗掉PR来绘制微电路,只留下必要的部分。
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