台积电为确保光阻稳定供应，近年大力推动光阻供应链在地化。李建梁摄
随着产能扩张，原物料需求不断成长，全球晶圆代工龙头台积电为确保光阻稳定供应，近年大力推动光阻供应链在地化，将曝光机台以租赁方式提供光阻供应商使用，降低其投资成本、提升来台设厂意愿；2021年已设立全台首座极紫外光(EUV)光阻生产工厂，截至2022年4月，已产出超过千瓶EUV光阻剂，创造逾新台币1亿元商业价值，年产值超过新台币10亿元，同时达到台积电资产活化再利用效益。
台积电表示，光阻是半导体微影制程的重要材料，因验证其品质的曝光机台售价与保养费用高昂，致使光阻供应商来台设厂进度难以推进。为解决光阻供应商投资成本过高问题，同时促进在地供应链发展，台积电依产能需求全面盘点厂内机台资源，将曝光机台出租予光阻供应商，使其无须额外购买机台验证光阻品质。
台积电指出，2020年已邀请光阻供应商来台设厂，不仅生产周期由28天缩短为17天、减少18%空运过程碳排放量，光阻在地化生产年产值更逾新台币10亿元，有效降低进口供料风险与成本支出。
台积电进一步指出，将持续推动光阻供应链在地化发展，未来将复制此成功经验，并评估于2022年第4季建立「机台租赁平台」，活化厂内不同类型机台再利用价值，提供有需求的供应商使用。
据了解，台积电重要供应商日本信越化学于2017年在云林兴建工厂，2018年底正式生产，2020年下半进一步再扩建，大幅提升EUV光阻剂产能。
责任编辑：朱原弘
