ASML年报明确指出，台积电、三星电子(Samsung Electronics)、英特尔(Intel)为其关键三大客户，而该公司2021年各地区营收贡献度，来自台湾、韩国与美国三地业者采购，分别达到34%、30%、12%，然除了三大逻辑芯片客户扩产先进制程、带动EUV机台销售外，存储器三大巨头三星、SK海力士(SK Hynix)与美光(Micron)陆续导入EUV制程量产，也让ASML扩产EUV供不应求。
综合ASML年报与Seeking Alpha报导，截至2021年第4季为止，台积电与三星晶圆代工(Samsung Foundry)占全球晶圆代工市场的7成左右，而英特尔不仅仍在CPU市场持续推进先进制程量产，更企图跨足晶圆代工市场、与台积电、三星竞逐先进制程，估计这三大客户囊括ASML采购EUV机台上看77%。
自从三星与台积电率先从2018年起陆续装机导入EUV系统曝光开始，EUV微影设备对ASML的营收贡献度，便从2019年时只占了3成，快速跃升到2020年与2021年营收贡献上看43%与46%，尤其以其垄断全球EUV市场的优势议价力来看，半导体厂商推进先进制程扩产之路上，难以回避ASML供货这一关。
ASML在2019～2021年EUV系统分别出货26台、32台与42台，预计2022年与2023年可望交货55台与60台系统，但无论是研究机构根据半导体大厂增产能的估算，抑或是ASMLCEOPeter Wennink日前证实，在在显示未来几年EUV机台供货短缺，各厂恐怕必须展开争抢机台策略。根据IC Insights与Khaveen的估算，先以ASML表态2022、2023年公司能够交货的115台EUV系统来看，光是台积电、三星晶圆代工以及三星存储器部门的扩产EUV机台需求，便达到73台规模。
这意味着英特尔未来2年的20台EUV需求，再加上美光与SK海力士介於16～40台EUV扩产所需，缺口达到34台左右，这个数据与先前业界估计20台的供需缺口，虽有出入，但也反映出ASML日前示警供货短缺，所言不虚。
ASML年报估计2025年EUV系统全球市场需求介於53～75台之间，其中，新时代EUV 0.55 NA系统出货至多5台，多数仍以EUV 0.33 NA系统为主力。至於研究机构则根据扩产需求预估2022、2023、2024年全球EUV系统需求介於71～87台；这个需求量，无论相较於ASML展望2022、2023年交货量55～60台，还是以2019年只有26台EUV系统交货量为基期来看，每台系统要价动辄上看2～3亿美元的EUV机台，在短短5～6年间扩产速度必须达到倍增甚或3倍增之多，以该公司EUV系统之复杂，以及合作供应商之众多，恐怕超出其所能负荷。
ASML表示合作的供应商上看4,700家业者，除了荷兰，中东、北非地区分别有1,500与700家供应商，另外在北美地区与亚洲地区分别还有1,200与1,300家供应商与ASML合作供货。从2021下半年ASML法说会初次提及供应链影响扩产脚步时，虽未明指哪些环节受到冲击，但近来更直接拿关键镜片供应商德国蔡司为例，强调供应商扩产也必须旷日废时，暗示其复杂庞大的供应链，成为ASML扩产的瓶颈。
