台积电 (2330-TW) 今 (25) 日举行技术论坛，营运资深副总经理秦永沛表示，南科晶圆 18 厂的 3 奈米制程生产基地，正在兴建中，新竹厂区 2 奈米及更先进技术的研发中心，也已开始兴建，预计 2021 年完工，至于生产基地正取得土地中。

秦永沛指出，台积电每年投资超过百亿美元，持续扩充产能，以满足客户需求，所提供的产能居全球龙头，并大幅超越第 2 名公司的 3 倍以上；先进制程产能从 2016 年至 2020 年，以年复合成长率达 28% 的速度成长。

台积电 2018 年领先全球导入 7 奈米制程量产，秦永沛表示，由于客户需求非常强烈，因此快速提升 7 奈米产能，回应客户需求，以今年产能与 2018 年量产时相较，将大幅成长超过 3.5 倍。

台积电 5 奈米大量采用 EUV 制程，今年进入量产，秦永沛指出，预计 2022 年时，5 奈米产能将较今年大幅成长超过 3 倍；南科晶圆 18 厂第一、二、三期为 5 奈米生产基地，第一、二期已量产，第三期已开始装机。

秦永沛也说，5 奈米技术困难度与量产挑战，远大于以往其他世代制程，但 D0 值 (平均缺陷密度) 改善进度非常好，优于前一代的 7 奈米同时期 D0 值表现，目前 5 奈米 D0 已近 0.1 水准，其 D0 值的改善，与广泛采用 EUV 有非常强烈的关系。

若从 EUV 量产角度来看，秦永沛指出，台积电 EUV 机台装设数量约占全球的 5 成，EUV 晶圆移动 (wafer move) 占全球比重超过 60%，有越多的晶圆移动，代表累积更多学习与经验，也是 EUV 能否成功量产的重要指标之一。

而未来 3 奈米制程生产基地，将在南科的晶圆 18 厂第四、五、六期，目前正在兴建中；而新竹厂区研发中心也已开始兴建，预计 2021 年完工，作为未来 2 奈米与更先进技术的研发基地，至于 2 奈米生产基地，目前正在取得土地中。

在特殊制程技术方面，秦永沛表示，台积电特殊制程产能占总产能比重逐年上升，预计今年将从 2015 年的 38%，大幅成长至 54%。晶圆 14 厂第八期将作为特殊制程生产基地，晶圆 14 厂第七期附近、正在兴建的 AP2C，将是未来先进封装生产基地。