三星电子加紧追赶台积电(2330)，全力冲刺制程微缩，据传三星电子在Note 7回收焦头烂额之际，仍砸下重金，采购生产晶圆的极紫外光微影(Extreme Ultraviolet lithography、EUV)设备。

　　韩国先驱报20日引述韩媒New 1消息报导，三星半导体研发部门主管Chung Seung-eun，造访欧洲半导体设备龙头艾司摩尔(ASML)总部，敲定EUV采购案，总价为2,000亿韩圜(1.78亿美元)。

　　Note 7 电池爆炸回收，让三星损失惨重，先前出售了艾司摩尔、夏普等持股，疑似要筹钱替note 7召回擦屁股。三星原本持有2.9%的艾司摩尔股权，本月初售出了1.45%股份，进帐6.81亿美元，当时 ​​三星表示，双方策略结盟的关系不会改变。

　　EUV可用于制程微缩，生产更小的晶圆，据称Chung表示，等到良率提升之后，三星还打算增购更多EUV机台。

　　韩媒etnews 7月报导，10 奈米晶片之战，台积夺下苹果、三星吃下高通，双方算是势均力敌。业界人士指出，两家公司都大力扩充产线，表示其中一家将有能力通吃苹果和高通的7奈米订单;要是苹果和高通大单真被一家全拿，痛失两大厂订单的业者，多数产线将被迫中断，营运将受重创。

　　台积宣布，明年Q1将装设艾司摩尔(ASML)的极紫外光(EUV)微影系统，名为NXE3400，部分用于生产7奈米晶片，部分将用于2020年的5奈米晶片。三星也打算导入NXE3400，时间为明年Q2。

　　据ETnews.com 5月报导，三星近期将从半导体设备大厂艾司摩尔(ASML)采购NXE3400机台，也就是量产型EUV微影设备，预计明年第二或第三季装设完工后，于年底开始用于量产7奈米晶片，这将是三星首度在量产线上采用EUV设备。