江苏南大光电CTO杨敏:新型“液态MO源”助力中国第三代半导体
来源:半导体产业网 发布时间:2020-12-09
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期间,由江苏南大光电材料股份有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、广州南砂晶圆半导体技术有限公司协办的“衬底、外延及生长装备”分会上,江苏南大光电材料股份有限公司首席技术官(CTO、副总裁)杨敏带来了“新型‘液态MO源’助力中国第三代半导体”的主题报告。结合第三代半导体的现状,分享了“液态源”与新材料研发的最新成果。
以氮化镓、碳化硅等宽禁带半导体化合物为代表,支撑战略性信息产业发展,重塑国家半导体产业格局。2019年中国第三代半导体整体产值超过1000亿美元。半导体照明占99%;功率电子和微波射频总体只占1%。预计2025年半导体照明会增加50%以上,射频和功率器件将成几何级数增加,达到千亿人民币市场。

第三代半导体深刻影响国家安全形势和世界格局,比如异质结构HEMT 制作功率器件和模块,形成导弹防御系;第三代半导体对国家的产业升级、节能减排、国防安全具有战略意义;是在集成电路之外的高技术竞争的关键领域之一,我国国家计划的重点方向之一,也是美国等西方国家对我国禁运的主要领域之一。
产业发展对材料端产生新需求,其中,“液态源”是具有稳定蒸汽压、高效、低毒、安全、易操作的液体MO源。



结合LED行业痛点,报告分享了南大光电液态镁、液态铟、液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等的最新进展。


杨敏博士1988年在南京大学化学系学习,于1992年7月获得本科学士学位。1992年8月至1994年7月在南京化工厂做工程师。1994年9月至1997年7月获得南京大学化学系硕士学位。1997年7月至1999年9月在北京宝洁技术有限公司任高级研究助理。1999年10月至2002年8月在英国哈德斯菲尔德大学应用科学系获得博士学位。
2002年9月至2006年8月在牛津大学化学系做博士后研究员,2006年9月至2007年10月在剑桥大学化学系做博士后研究员。2007年10月至2018年8月任职于英国伦敦大学学院(UCL)终身副教授,博士生导师。同期2014年1月2018年8月任牛津大学化学系访问科学家。
杨敏博士是英国皇家化学会、美国化学会会员,英国高等教育协会会员,皇家化学协会核心刊物评审员。2018年9月加入江苏南大光电材料股份有限公司任公司高管首席技术官(CTO副总裁)。2019年入选江苏省“双创人才”计划,苏州市“姑苏领军人才”计划和“金鸡湖人才”计划,2020年入选苏州工业园区“园区领军人才”计划,2020年被聘为北京大学客座教授及苏州市领军人才联合会副会长。
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)
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