滨化集团6N级高纯氟化氢投产

据滨化集团消息，其子公司大晟芯材于7月19日举办了新产品发布及投产仪式。此次活动宣布，该企业已成功具备6N级（纯度达99.9999%）高纯氟化氢的规模化生产能力，同时相关充装设施也已建设完毕。

在集成电路制造领域，高纯氟化氢作为关键的电子化学品，被广泛用于晶圆的清洗与蚀刻工艺。据滨化集团介绍，这次投入量产的6N级产品，其核心金属离子杂质被控制在1ppb以下，整体技术参数达到国际先进水平。

由于6N级高纯氟化氢对纯净度有着严格的标准，制造期间必须严密监控微量杂质。为此，研发团队在微量杂质分析、钢瓶洁净保护、低析出材料选择以及多重精馏耦合等方面进行了深度技术攻坚，从而达成了从制造到仓储运输的全链条管控。

在产能与资质方面，该企业现已建成并调试好年产能50吨的钢瓶充装产线。7月16日，其顺利获得了由山东省特种设备检验研究院下发的充装许可，正式拥有了该类产品的生产、充装和商业销售资格。

滨化集团透露，高纯氟化氢是其首款实现商业化落地的电子特种气体，现阶段正针对业内核心客户进行市场推广。后续，该企业计划进一步拓展卤系电子特气产品线，将电子级溴化氢、氯化氢等纳入发展版图。

另外，该企业早前还携手天津大学共同推进了超高纯电子级氢氟酸的研发工作。这项隶属于山东省重大科技创新工程的课题，其成果不仅达到国际先进水平，还成功打入了14纳米先进工艺节点的半导体终端供应链。

据悉，设计产能达1.7万吨的阳信高端电子化学品项目现已破土动工。滨化集团指出，将来会依托当前产能基础，持续优化在电子特种气体及湿电子化学品领域的产业布局。