创锐光谱科技完成近亿元Pre-A轮融资，加速碳化硅晶圆检测设备研发

大连创锐光谱科技有限公司（创锐光谱）近期宣布完成近亿元人民币的Pre-A轮融资。本轮融资由光速光合领投，老股东君联资本跟投，资金将主要用于技术研发和产能扩容。

创锐光谱成立于2016年，专注于半导体光谱检测设备的研发与生产，业务覆盖半导体工业检测和科学研究两大领域。

在碳化硅晶圆检测领域，创锐光谱开发了多种专用设备，包括衬底/外延位错缺陷无损检测、点缺陷检测、高速载流子寿命检测等，有效解决了碳化硅衬底位错缺陷无损检测的难题。随着碳化硅产业的扩产潮和相关项目建设的加速，量检测设备的需求日益增长，创锐光谱等厂商有望获得更多资本支持。

据集邦化合物半导体统计，2024年以来，已有多家碳化硅量检测设备相关厂商完成新一轮融资，创锐光谱是其中之一。在设备国产替代的趋势下，国产碳化硅设备厂商有望继续获得资本市场的青睐，完成更多融资。