SDC加速OLED制程革新 将导入ALD新设备

SDC此前宣布IT用8代OLED产线投资。SDC

三星显示器（Samsung Display；SDC）为强化新一代OLED技术，传将导入主要设备合作业者AP Systems的新一代原子层沉积（ALD）设备。

韩媒ZD Net Korea引述业界消息指出，SDC计划最早自2023年第4季，针对新一代ALD设备进行制程评估。ALD为可将材料一层一层成长的薄膜制程技术，虽然与既有的化学气相沉积（CVD）相比，生产速度较慢，但更容易应用于精密的制程，目前已广泛使用于先进半导体领域。

据悉，SDC将于韩国天安A1生产线，导入AP Systems的新一代ALD设备。A1产线负责生产4.5代硬式OLED面板，为较成熟的产线，稼动率并不高，因此较适合用于测试新制程。业界预测，相关设备最早将于2024年上半完成装设。

业界指出，SDC选择引进ALD设备，是为了提高低温多晶氧化物（LTPO）OLED面板的效能。过去显示器业界主要生产低温多晶矽（LTPS）薄膜晶体管（TFT）OLED，不过近年智能手机等移动设备，开始转换为LTPO OLED，主因是LTPO具备在高分辨率下维持低功耗的优势。

不过实际上，由于LTPO的电子迁移率比LTPS低，要实现高屏幕更新率及分辨率难度不低。透过ALD设备，将可执行更精细的沉积，提高LTPO OLED效能。若AP Systems ALD设备能通过制程评价，SDC将正式用于生产苹果等主要客户所需的OLED面板。

特别是苹果预计于2024年先在iPad Pro搭载LTPO OLED面板，且传已开始向SDC等主要供应商，针对iPad mini和iPad Air用OLED面板供应展开协商，若市场反应良好，有望于2026年扩大采用。随着IT用OLED市场扩张，SDC也欲透过8.6代OLED产线、ALD等设备制程革新，维持市场竞争力。

责任编辑：陈至娴