传荷兰补漏洞：已导入产线的DUV设备，维修须政府许可
来源:芯师爷发布时间:2023-07-031663浏览
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荷兰继上周五（6月30日）颁布半导体设备管制新规——《先进半导体制造设备法规》（以下简称“荷兰半导体设备法”），今天再被曝出修补管制漏洞：将已装机、未交货的高端DUV设备列入管制，设备后期维护需要向荷兰政府申请许可。
图源：ASML官网
荷兰此举是美国2022年颁布的“107新规”的延续。自此，美日荷三大半导体设备国均已正式宣告其半导体设备管制法规，三国的“半导体先进设备围堵”联盟正式成局。关于美日的半导体出口限制政策，可参照芯师爷前文《国产率仅15%！我们要恶补半导体设备技术了》。
今天，沿着荷兰最新传出的修补管制漏洞，我们来详细看看荷兰政府正式宣告的半导体设备法规。
7nm及以下制程光刻机出口受限
荷兰政府发布的荷兰半导体设备法，据政府宣告是针对先进半导体制造设备进行额外出口管制，管制措施将在9月1日生效，届时，特定先进半导体制造设备的出口须向荷兰对外贸易与发展合作部申请许可，得到授权后才能出口。
据该法规，满足以下条件的光刻机将被荷兰政府纳入出口管制范围：
1、光源波长小于 193nm；
2、光源波长大于等于193nm，且 a.分辨率小于等于 45nm；
3、b.套刻精度小于 1.5nm。
荷兰光刻机巨头阿斯麦公司（ASML）补充声明称，这些新的出口管制条例针对对象为先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统，并非部分媒体报道的所有浸润式DUV光刻系统。根据新出口管制条例规定，ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统（即TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统）。荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证，并将向ASML提供许可证所附条件的细节。
结合两方口径，可以确定本次“荷兰半导体设备法”针对的是2000i及后续推出的浸润式光刻系统。
图：ASML浸润式DUV系统系列
图源：ASML官网
据ASML官网展示，其浸润式DUV系统系列共有TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT：2000i及TWINSCAN NXT:1980Di三款产品，其中2050i是2000i光刻机更先进的型号，1980Di则为2000i前一代产品。
图源：ASML官网
产品页面介绍，2000i 是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产300毫米（即12英寸）晶圆而设计，可生产小于38nm的芯片产品。页面特征数据显示，2000i专为与EUV混合使用而设计，可为高级逻辑和DRAM节点的大批量制造提供出色的覆盖、聚焦控制和交叉匹配。
从产业介绍的资料来看目前1980Di尚可不需要“许可”直接购买，而2050i和2000i要经过荷兰政府审批方可出口至别国。
公开资料显示，2000i与2018年8月正式出货，可用于7nm/5nm DUV工艺。这意味着，2000i及其后续推出的浸润式光刻系统均面向7nm及以下先进制程工艺的生产。
图源：ASML官网
至于目前仍可自由购买的1980Di，招商电子相关报告指出：参考de Graaf、Roelof等于2016年发表的SPIE会议论文，1980Di可适用于10-16nm制程，通过多重曝光可实现7nm制程的光刻。根据ASML官网，1980Di最大分辨率可实现38nm，小于荷兰政府规定的45nm，但其DCO指标为最大1.6nm，不满足法规中小于等于1.5nm的要求，因此该设备目前仍未受限。
需要注意的是，虽然1980Di理论上可以实现7nm制程光刻，但在实际应用中，晶圆产线一般不将其用于生产14nm以下制程工艺芯片。个中缘由是1980Di应用于14nm以下产线时，步骤更为复杂，导致良率低，生产成本更高，没有市场竞争力。
基于以上分析，本次“荷兰半导体设备法”和ASML在今年3月的声明并无差异。ASML 在2023年3月8日的 声明中指出，出口限制将局限于7nm 及以下制程，侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统，主要为 DUV 光刻机 TWINSCAN NXT：2000i和 TWINSCAN NXT：2050i 两款产品，而未被禁运的 NXT 1980i 等设备仍可支持最低至10nm的芯片产。
换而言之，荷兰实际实施的设备限制措施比美国2022年10月的芯片管制新规（管制新规禁运美国 14nm 及以下设备），和日本2023年5月23日颁布的语焉不详6大类23种高性能半导体制造设备出口管制更为宽松。
传已导入产线DUV设备维修也需“许可”
在看似宽松的背后，荷兰政府却又在悄悄填补“漏洞”。据中国台湾电子时报7月3日报道，荷兰外贸大臣Liesje Schreinemacher日前受访时还指出，除了管制尚未交货的高端DUV系统，必须申请许可外，对于已经在客户端导入生产、正在运行的DUV设备，荷兰企业在替客户进行维修之前，也必须向政府取得许可，方可放行。
荷兰媒体NL Times的报道也指出，对于ASML在对涉及管制的机器维修维护等任务前，该公司还必须向荷兰政府申请维护已导入使用机器的许可证。
2022年10月，拜登也对美国半导体设备企业也有类似的要求。
2023年6月29日，在上海举行的SEMICON China 2023大会上，长江存储董事长、代理CEO陈南翔曾就某些半导体设备企业不提供技术支持一事发表言论，他认为假设企业依法合规买的设备拿不到或是无法使用，可以设一个时间内，把设备在新的条件下回购，这样才公平。
如今，荷兰也依样画葫芦来了这么一出，涉及ASML的先进制程设备的订单又该如何处理呢？
荷兰半导体设备新规已然透露答案，允许购买的DUV光刻机，设备维修可申请，想必当中会有个审核，需查明产线的具体生产情况，比如是否涉及受管制的先进制程生产；至于已经不可购买，购买的想必也不会得到妥善维修。不过自2019年以来，大陆产线实际上不可从荷兰获得可生产7nm制程的光刻机。而已经下了的订单，据荷兰媒体透露，ASML对已下订、未交货的高端DUV设备订单的客户提供了“转单”服务，可换购成其它许可的半导体设备。
至于陈南翔先生说的“回购”可能发生吗？大概率不。掌握半导体先进技术的海外国家们根本不在乎“市场公平”这一准则，他们颁布一系列的条款已经验证了这一点。更何况，企业失去自由交易权后，“回购”的产品，又还能卖给什么客户呢？
参考资料：
台湾电子时报《荷兰堵死管制漏洞已装机、未交货高阶DUV都列管》
招商电子《半导体设备行业动态点评：荷兰公布半导体设备出口新规，加速国内设备国产化进程》
快科技《ASML出货新光刻机NXT2000i：用于7nm/5nm DUV工艺》
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