2023年5月26日，浙江星曜半导体有限公司正式发布基于TF-SAW工艺的新一代高性能Band 28F双工器和具备超高共存能力2.4GHz Wi-Fi滤波器。其中Band 28F双工器因为其相对带宽大、发射接收间隔小、温漂系数要求严苛，成为双工器中开发难度最具挑战性的产品，同时也是目前国内外极稀缺的双工器。与LTE Band 40和5G n41、Band 7共存的2.4GHz Wi-Fi滤波器目前也是业内亟需提升带外抑制水平的高难度产品。本次发布的Band 28F双工器，封装尺寸为1.8mm x 1.4mm，采用TF-SAW技术路线和星曜公司自研的EDA开发软件平台及众多特有的专利技术。发射工作频率为703-748MHz，接收工作频率为758-803MHz，发射通道与接收通道的工作频率间隔仅10MHz。
Fig.1.星曜半导体TF-SAW B28F双工器实拍图本产品运用了星曜公司的超高Q值TF-SAW谐振器技术，将传统的normal SAW谐振器Q值从1000提升到了3500，同时还极大地抑制了通带及周边的杂波，使得Band 28F双工器能够满足带外陡降的高要求并且拥有更好的通带性能。其带内插损、带外抑制表现优异，Tx、Rx通带插损典型值均小于2.3dB，在Tx与Rx频段隔离均大于55dB，综合性能达到国际一线大厂产品水准。依赖于TF-SAW的特殊工艺设计，可以有效地将电极产生的热量散发到基板上，低 TCF 和高散热的综合效应使滤波器在高工作温度下的响应稳定，有效解决了传统SAW滤波器技术存在频率随工作温度漂移的问题，本次发布的Band 28F 双工器的TCF温漂系数仅为-10ppm/℃。另外，其耐受功率可达到+29dBm，能够满足目前移动通信的发射功率需要。测试数据如下：
Fig.2. 星曜半导体TF-SAW B28F双工器 (a) TRX Passband;（b）TX Passband；（c）TX Wideband; (d) Isolation；（e）RX Passband；（f）RX Wideband同步推出的2.4G Wi-Fi滤波器，封装尺寸为1.1mm x 0.9mm。其工作频率为2401MHz ~ 2483MHz，左边带与常用的LTE Band 40相连，右边带与5G n41频段、LTE Band 7邻近，因此其滤波器必须兼顾满足高陡降和高抑制的性能要求。
Fig.3. 2300MHz-2690MHz频段示意图
Fig.4.星曜半导体TF-SAW 2.4GHz Wi-Fi滤波器实拍图该款滤波器采用了星曜自主创新的高频、高Q值TF-SAW谐振器技术和新型滤波器电路结构，大幅度提升了滤波器的带外抑制程度和边缘滚降系数。其带内插损、带外抑制表现优异，通带插损典型值小于2.2dB，在带外LTE Band 40的抑制超过50dB, 在带外5G n41和LTE Band 7的抑制超过45dB，综合性能已经达到国际一流水准。依赖于TF-SAW工艺的特殊设计，可有效解决传统SAW滤波器技术存在频率随工作温度漂移的问题，温漂系数可达到-5ppm/K。
Fig.5. 星曜半导体TF-SAW 2.4G Wi-Fi滤波器(a)通带响应；（b）在B40频段抑制情况；（c）在n41和B7频段抑制情况。目前星曜公司已自主研发完成TF-SAW全频段系列谐振器及滤波器，覆盖范围从600MHz到2.7GHz, 能够全面适应不同通信频段的高要求。包括本次发布的Band 28F双工器及2.4G Wi-Fi滤波器在内，星曜半导体还量产了TF-SAW Band 3双工器、Band 2双工器、Band 25双工器、Band 1 + Band 3四工器，未来将继续推出更多TF-SAW滤波器产品。
Fig.6.星曜半导体TF-SAW滤波器部分产品实拍图星曜一直坚持走高端的研发路线，让射频芯片的国产化不再是低价的代名词，而要主动选择和攻克国际厂商同样面对的技术难题。在星曜自主研发的多款滤波器和双工器产品，例如高性能TF-SAW双工器和高频5G BAW n78、n79、Wi-Fi 6E等滤波器产品中，都使用了自有专利中的宽带滤波器设计技术和谐振器设计方案，在实现宽带应用的同时也能够保证较好的带外抑制，远超很多国内外头部同行产品。星曜在射频滤波方面已量产20余款不同工艺（TF-SAW / SAW / TC-SAW / BAW）的射频滤波器产品，持续不断地为客户提供丰富的、可靠的、高性能的射频滤波解决方案。依托大量的自主知识产权积累，打造高端的研发路线和技术壁垒，部分产品的性能达到国际顶尖水平，获得了行业内众多品牌客户的广泛。目前星曜在双工器和发射滤波器产品领域，一年之内已累计出货超过1亿颗，客户覆盖国内外众多一线品牌。同时，星曜也执着于做射频前端的赛道引领者，主动突破行业内的尖端产品。所发布的双频 GPS LFEM射频模组芯片产品，采用了从滤波器件结构、模组设计方案到生产制造工艺在内的一系列自有专利技术。未来将陆续推出更多的5G接收模组（DiFEM / LFEM等）、发射模组（PAMiD / L-PAMiD / PAMiF/ L-PAMiF等），以及针对物联网/模块应用的模组产品。充分反映了公司技术团队研发实力的全面化，也体现出了星曜人坚持自主研发的技术创新执念，为整个行业带来了便捷易用、性能卓越的射频前端解决方案。最后，星曜在追求高端的芯片研发设计之外，还在芯片制造和工艺方面积极布局，以形成完整的研发、设计、制造、封装、测试等垂直整合能力。日前，星曜公司筹建的5G射频滤波器晶圆厂项目，已签约落户温州湾新区，计划总投资约7.5亿元，规划用地面积约100亩。该项目将实现星曜射频滤波器芯片从自主设计到自主生产的重要一环，助力确保稳定产能。相信在芯片设计、制造每个环节的精益求精，终将助力星曜半导体持续创新，赋能行业稳步发展。
Fig.7.星曜半导体5G射频滤波器晶圆厂项目签约仪式
关于星曜半导体：浙江星曜半导体有限公司成立于2020年11月（前身是浙江信唐智芯科技有限公司），是一家专注于射频滤波器芯片和射频前端模组的研发、生产和销售的高科技企业。公司总部位于温州，在上海、成都、深圳、西安、苏州均设有研发或销售中心。星曜半导体公司由国家海外引才计划专家、浙江省鲲鹏行动计划专家领衔创办，目前拥有一支60多人的国内外顶尖研发团队，其中博士硕士超过40人，公司核心研发人员均毕业于国内外知名高校且拥有国内外顶尖射频滤波器或射频芯片公司（Qualcomm、Apple、Qorvo、Skyworks、TDK等）多年工作经验，曾研发出多款芯片成功量产应用在苹果、三星等品牌旗舰机型。星曜半导体技术团队在基础理论、设计、工艺、封装、测试、量产等技术领域积累了丰富的理论和工程实践经验。星曜半导体坚持以市场需求为导向、以核心技术为支撑的产品开发理念，不断深化产品线布局。基于TF-SAW、BAW 、BAW+IPD、SAW、TC-SAW技术，目前已开发30多款成熟滤波器、双工器、四工器等芯片产品（代表性产品包括TF-SAW Band 3、Band 2、Band 25、Band 28F，BAW n78、n79NB、n79F、Wi-Fi 6E以及GPS LFEM），产品性均达到国内领先、国际一流水平。目前多款产品量产交付国内外一流客户，双工器和发射滤波器出货量超过1亿颗（一年内），且正在迅速增长中。公司将坚持以中高端产品为重点，不断丰富产品线，满足客户的不同需求。
