【芯事记】4月半导体设备招投标：上海积塔招标数量环比创新高

集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年4月，上海积塔、华虹半导体、润鹏半导体、新昇半导体等企业合计招标743台设备，数量高于3月的321台，环比增长131.46%。其中，光刻设备9台，刻蚀设备37台，薄膜沉积23台，工艺检测53台，离子注入3台，CMP 23台，清洗设备21台，涂胶显影13台。

从招标企业来看，上海积塔新增设备招标494台，华虹半导体新增设备招标6台，华虹宏力新增设备招标1台，润鹏半导体新增设备招标185台，新昇半导体新增设备招标3台，株洲中车新增设备招标5台，汇芯通信新增设备招标7台。

其中，上海积塔特色工艺项目再启大额招标，4月设备招标数量远高于3月的216台，环比增长128.7%，创新高。本月招标关键设备包括4台KrF扫描式光刻机、2台ArF扫描式光刻机、1台钨金属化学气相沉积以及1台6寸常压化学气相沉积设备；此外，干泵、真空泵设备需求较多。

华虹半导体4月设备招标数量（6台）远低于3月的34台，主要为采购1台、金属配线等离子体刻蚀设备、1台深沟槽等离子体刻蚀腔体、2台微波等离子体刻蚀腔体以及2台等离子体刻蚀设备。

润鹏半导体（深圳）有限公司为华润微电子深圳12英寸集成电路生产线建设项目建设主体，该项目于今年2月启动，项目一期总投资220亿元，聚焦40纳米以上模拟特色工艺，项目建成后，产品主要应用于汽车电子、新能源、工业控制、消费电子等领域。

该项目本月主要采购设备包括2台氮化钛金属掩模刻蚀机、2台接触孔刻蚀机、12台等离子去胶机（前段）、3台低温氮化硅沉积炉、2台金属钛及氮化钛沉积设备、5台KrF涂胶显影设备、2台I-line涂胶显影设备等。

从中标方面来看，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年4月，北方华创、盛美上海、精测半导体、应用材料、东京电子等企业合计中标86台设备，数量低于3月的129台，环比下降33.33%。其中，刻蚀设备5台，薄膜沉积6台，工艺检测14台，离子注入15台，CMP 1台，热处理5台，清洗设备11台。

国内设备厂商合计中标34台设备，占比约为39.53%。其中，北方华创共中标2台设备；盛美上海共中标1台设备，是为新昇半导体提供提供1台最终清洗机；精测半导体共中标1台设备，是为上海芯物科技提供1台全自动电子束晶圆缺陷复查和分类设备；华卓精科共中标2台设备，是为上海积塔提供2台激光退火设备；苏州睿智源共中标4台设备，是为汇芯通信提供1台刻蚀机和3台清洗机。

国外设备厂商合计中标52台设备，占比约为60.47%。其中，应用材料共中标17台设备；东京电子共中标9台设备；KLA共中标10台设备，包括为中车时代半导体提供2台DFI缺陷检测设备、2台膜厚仪、1台Overlay等；SCREEN共中标2台设备，是为华虹半导体提供1台氮化膜湿法刻蚀设备和1台氧化膜湿法刻蚀设备；Axcelis共中标1台设备，是为上海积塔提供1台6英寸碳化硅高温中束流离子注入机。

其中，北方华创4月（2台）中标设备数量远低于3月（28台），分别为中标山东有研1台12英寸常压外延炉和中标之江实验室1台多腔室干法刻蚀设备。

应用材料4月（17台）中标设备数量远高于3月（1台），包括中标积海半导体3台薄膜沉积设备；中标中车时代半导体14台离子注入设备，包括4台大束流离子注入机、3台高能质子注入机、2台中束流离子注入机（前段）等。

东京电子4月中标华虹半导体9台设备，包括1台常压成膜扩散炉、2台低压成膜扩散炉、2台特性自动探针台和4台自动探针台。

本月重点企业动态

4月1日，上海积塔与华大九天签订战略合作协议。双方将通过“CIDM”垂直整合模式深化合作，围绕Foundry EDA工具开发验证、车规级芯片工艺平台研发适配等领域开展全面合作。上海积塔邀请华大九天加入其牵头创建的临港车规半导体创新联合体，双方将发挥技术协同优势，加快部署Foundry EDA工具，加速制造产线适配，加快需求牵引与方案落实。

4月，西安奕斯伟硅产业基地二期项目传来新进展。西安发布当时消息显示，该项目正在进行主体施工，预计年内投产，投产后亩均税收将达到181万元，二期项目满产后，基地整体月产能将达100万片。

4月24日，中微公司在投资者互动平台表示，公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm，40nm和28nm逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺，以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。

4月，芯碁微装太阳能电池光刻设备量产机型（SDI-15H）成功发运光伏龙头企业。此次发货的设备为2022年9月芯碁微装太阳能电池光刻设备首机的升级机型，适用于高效太阳能电池光刻图形化工艺的量产应用。

4月，万业企业在投资者互动平台表示，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，均已相继通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂的验证验收；嘉芯半导体预计2025年将成为达到年产2450台8英寸和12英寸主制程及支撑制程设备的研发制造基地。

4月，ASML公布第一季度财报，营收达67.46亿欧元，获利为19.56亿欧元；第一季度订单量较上年同期下降46%至37.5亿欧元。同时，ASML在中国台湾推进2nm研发，并向中国台湾“经济部”申请A+企业研发资助。（校对/韩秀荣）