60岁回国创业，“中国刻蚀机之父”尹志尧的第三人生

来源:今日芯闻发布时间:2023-05-193058浏览

大器晚成总被人称道，却没人向往。

不知不觉，35岁被逼成了人生的悬崖边，让人只有焦虑，没有乐观。大器晚成更像是痴人说梦，遥不可及。但事实上，人们或许可以看到二十年后的产业趋势，却难以描绘自己的人生前景。

现在已近耄耋之年的尹志尧，人生的前三十年同样充满不确定。他更想象不到会在30年后以美国人的身份回到中国创业，并打破西方的技术垄断。但乐观的心态却在支撑着他往前走，一直走到今天。

报效祖国二十年不晚

1944年出生的尹志尧，往上三代都是留洋学子，他本人也成绩优异，中学就读于北京四中，本科毕业于中科大。不过之后他被分配到兰州炼油厂，开始近10年的工作生涯。高考恢复后，尹志尧继续求学，并在36岁这年获得北大化学系硕士学位。这个年纪对现在的很多人来说已经失去了对未来的期待，学习也成了雾里看花，但尹志尧的彪悍人生却刚刚起步。

从北大毕业后，尹志尧前往美国攻读博士，开始了他的“第二人生”。1984年，也就是尹志尧40岁这年，他获得加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位，从此开始了硅谷的传奇之旅。

他先是到半导体巨头英特尔工作。在进入英特尔中心研究开发部的第一天，他就被震撼到。

尹志尧曾在采访中提到，研究开发部有两个大部门，一个是单元操作部门，就是光刻机、等离子体刻蚀机、薄膜机能做到什么样的程度；另一个是工艺集成部门。原本尹志尧以为这里都是美国人在做，结果发现单元操作部门研究题目组的组长、经理绝大部分都是华人，工艺集成部门中几位最主要的工程师多数也是华人。

从英特尔离职后，尹志尧加入了华人林杰屏创立的泛林半导体。此时的泛林还不是全球半导体刻蚀设备的龙头，而是一个初创企业，创始人林杰屏则出生于广东花县（现广州市花都区）。后来尹志尧离开泛林进入现在全球第一大半导体设备商——应用材料，这是他在回国前在硅谷的最后一段打工经历。

在硅谷打拼近20年，尹志尧个人在半导体行业积累了86项美国专利和200多项国际专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”，也被部分媒体称为“硅谷传奇”。

2004年，60岁的尹志尧原本可以筹划安享晚年，却做了一个令人惊讶不已的决定——放弃百万年薪回国创业。在上海半导体灵魂人物江上舟的盛情邀请下，尹志尧带领15人的团队来到上海浦东，成立了中微半导体，开启“第三人生”。

从北京到上海1300公里的距离，尹志尧走了近20年。

在接受《第一财经》采访时，尹志尧被问及为何选择在60岁回国创业，尹志尧表示，“我是一个中国人，在中国得到了很好的教育，也有十多年的生产和研发的工作经验。去美国的时候已经36岁了，我总觉得缺些什么东西，对祖国的欠缺，应该给自己的国家做事情。我们家前面三代都是学成回国报效祖国的，参加了民主革命和社会主义建设，所以我一定要效仿前辈的精神。所以就回国工作了。”

创业维艰打破垄断

在中国的半导体产业，清华系占据了半壁江山，尤其是清华电子系85级，涌现了韦尔股份虞仁荣、兆易创新舒清明、卓胜微冯晨辉、格科微赵立新、随缘科技赵立冬等上市公司创始人。

北大的代表就是尹志尧。不过虽然是北大硕士，尹志尧浑身上下却散发着清华的特质。除了工科背景，尹志尧还把中微公司精神文化的十大作风总结为“自强不息，厚德载物”。巧的是，这也是清华校训。

晶圆制造设备占整个集成电路设备市场规模的80%，而在整个晶圆厂的投资中，设备投资总额又占到75%左右。等离子体刻蚀设备、光刻机和薄膜沉积设备是其中最关键的三大设备，其价值量占晶圆制造设备总价值量的75%左右。

尹志尧将芯片制造比作在人的头发丝的千分之一甚至万分之一的面积上盖大楼，而建设其中每一层就像剪窗花。负责铺材料的薄膜机就像一张红纸，光刻机在纸上画各种花纹，等离子体刻蚀机将不要的东西刻掉。随着芯片制造工艺的进步，线宽不断缩小、芯片结构 3D 化，“画花纹”的光刻机受限，加工步骤增多，刻蚀设备和薄膜沉积设备的重要性不断提升。二者也正是当前中微公司的核心产品。

不过，虽然拥有过硬的履历，但尹志尧的创业之路依然步履维艰。他将困难总结为两点：资金和人才。尹志尧提到，高端设备有3个共性特点：一是开发时间长，少则3年、5年，一般需要7~10年才能做出来的，长则可能10年、20年；二是投资需要几十亿元地投；三是每一个具体设备，国际上仅有两三家能够做，即高度垄断。

因此，没多久中微公司就把政府资助的5000万元启动资金和团队自筹的150万美金用完。但当时中国的半导体投资远没有现在火热，尹志尧在国内融资的想法破灭，最终还是来自硅谷的风投机构雪中送炭。后来随着中国半导体投资环境的好转，以及中微公司在CCP刻蚀设备（电容性等离子体刻蚀设备）等产品的突破，融资的问题得以解决。

人才的问题同样严峻。集成电路大概要综合50个学科兵种的知识，涉及机械设计、强电、弱电、软件设计、工艺过程、材料科学等，而且需要光刻、薄膜等其他设备的支持与配合。但在20世纪前10年乃至15年，中国的半导体人才极度紧缺，中微公司只能自己培养。据尹志尧介绍，中微从物理、化学、机械、材料、自动化这些专业中进行招聘，经过了十几年的培养，不少人已经成了顶梁柱。

高科技领域频现的专利战却没有对中微公司造成困扰，因为尹志尧早已做好准备。刚回国时，尹志尧所带领的15人团队，不带任何文件，为的就是避免法律纠纷。在此后的新产品研发时，中微也会研究行业现有专利，不仅在专利上不违反，而且在具体设计细节上也不按照原来公司的方案。这样一方面避免专利纠纷，另一方面也构筑自身的专利护城河。

因此，虽然后来面临老东家泛林半导体和应用材料的专利诉讼，中微均安然度过，从未败诉。

2015年2月，美国商务部宣布解除对中国出口等离子体刻蚀设备的限制。其公告中如此显示：“在中国已经有一家非美国的公司有能力供应足够数量及同等质量的刻蚀机，继续现在的国家安全出口管制已达不到其目的了。”这家公司，就是中微公司。

人不能长青，企业可以长存

2022年，中微公司新签订单金额同比增长53%至63.2亿元，营业收入同比增长52.5%达到47.4亿元，扣非归母净利润更是同比增长183.44%至9.19亿元。

来源：中微公司2022年报

截至2022年底，在中微公司累计2259项专利中，发明专利达到1938项，占比超86%。而且中微公司累计实现3311个等离子刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线应用。累计装机台数保持11年年均增速在35%以上，2022年增长超40%。

至此，全世界大约超过一半的刻蚀设备都有尹志尧的影子。

不过中微公司却仍面临一些质疑。有人认为中微公司过于依赖创始人团队，而尹志尧为代表的创始团队年龄偏大，尤其是尹志尧已经年近80，因此未来中微公司的发展存在不确定性。

这里不得不提尹志尧的一则趣事。尹志尧刚回国时，有一次坐出租车，司机对60岁的他说：“您看起来只有38岁！”不过，人虽然不可能永远年轻，但企业却可以长存。

尹志尧十分重视企业核心团队对企业健康发展的重要性。在中微创立伊始，尹志尧就将其设定为全员持股公司，目的是将员工管理层的长远利益与公司发展绑定。这也是他在英特尔、泛林、应用材料所看到的共性。

而根据2022年报，中微公司的核心技术人员中，副总经理杜志游和倪图强分别为64岁和61岁，杨伟57岁。虽然还未出现70后甚至80后，但年龄结构并没有外界所担心的那么严重。在董事会和管理层则已经出现80后甚至90后的身影。

除此之外，仍活跃在一线的尹志尧也在为中微公司成为百年老店而努力。除了前文提到的“自强不息，厚德载物”的精神文化，中微还总结了覆盖科创企业发展、产品开发、战略销售、运营管理等经验准则。

中微公司的业务结构也在逐步完善。招股书显示，半导体设备销售的周期性和波动性较下游半导体产品和电子产品行业更大。因此，中微确定了三维生长策略。从第一维不断扩大集成电路设备的覆盖度，到第二维开发泛半导体设备，再到第三维的非加工设备或其他领域。这种发展路径，一方面可以逐步降低对半导体设备等单一业务的依赖，降低公司业绩波动；另一方面也可以降低对特定人的依赖。

目前，中微公司逐步进入太阳能、显示屏、MEMS等泛半导体设备领域，其MOCVD设备已在全球氮化镓基LED市场占据领先地位，并且和诸多一流的 LED 外延片厂商达成合作。

眼下尹志尧已经回国近20年，20年间，中国的科研环境、产业环境不断改善，华人企业家、科学家回国已成为趋势。数据显示，2019-2021年间，有3878名华人科学家离开美国科研机构，回到中国开展研究。而年近80的尹志尧依然精神矍铄，仍在为中国的半导体产业奔走。